621.9.04:533.9 F85 Franz, G. Low pressure plasmas and microstructuring technology [Electronic resource] / G. Franz. - Electronic text data. - Berlin ; Heidelberg : Springer-Verlag, 2009. - ISBN 978-3-540-85849-2 : Б. ц.
Кл.слова (ненормированные): плазма низкого давления -- микроструктурирование -- технология См. : Текст издания Доп.точки доступа: SpringerLink (Online service) Свободных экз. нет |