621.31-181.4
E43


   
    Electroceramic-based mems [Electronic resource] : fabrication-technology and applications / ed. N. Setter. - Electronic text data. - Boston, Ma : Springer Science + Business Media Inc., 2005. - (Electronic materials: science and technology, ISSN 1386-3290 ; 9). - ISBN 978-0-387-23319-2 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектромеханические системы

См. : Текст издания

Доп.точки доступа:
Setter, N. \ed.\; SpringerLink (Online service)
Свободных экз. нет

621.31-181.4
L85


    Lobontiu, N.
    Mechanics of microelectromechanical systems [Electronic resource] / N. Lobontiu, E. Garcia. - Electronic text data. - Boston, Ma : Springer Science + Business Media Inc., 2005. - ISBN 978-0-387-23037-5 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: Микроэлектромеханические системы

См. : Текст издания

Доп.точки доступа:
Garcia, E.; SpringerLink (Online service)
Свободных экз. нет

621.31-181.4
M54


   
    MEMS: a practical guide to design, analysis, and applications [Electronic resource] / ed. J. G. Korvink, O. Paul. - Electronic text data. - Berlin ; Heidelberg : Springer, 2006. - ISBN 978-3-540-33655-6 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектромеханические системы -- проектирование -- анализ -- применение

См. : Текст издания

Доп.точки доступа:
Korvink, J.G. \ed.\; SpringerLink (Online service)
Свободных экз. нет

621.31-181.4
L24


    Lang, J.
    Multi-Wafer rotating mems machines [Electronic resource] : turbines, generators, and engines / J. Lang. - Electronic text data. - Boston, Ma : Springer, 2009. - (MEMS reference shelf, ISSN 1936-4407). - ISBN 978-0-387-77747-4 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектромеханические системы вращающиеся -- турбины -- генераторы -- двигатели

См. : Текст издания

Доп.точки доступа:
SpringerLink (Online service)
Свободных экз. нет

578.08-022.532
N21


   
    Nano-Bio- electronic, photonic and mems packaging [Electronic resource] / ed. C. Wong [et al.]. - Electronic text data. - Boston, Ma : Springer Science+Business Media LLC, 2010. - ISBN 978-1-4419-0040-1 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК

Кл.слова (ненормированные):
нанобиоэлектроника -- фотоника -- нанотехнологии -- микоэлектромеханические системы

См. : Текст издания

Доп.точки доступа:
Wong, C. \ed.\; SpringerLink (Online service)
Свободных экз. нет

621.31-181.4
S20


    Santos, H. J.
    Principles and applications of nanomems physics [Electronic resource] / H. J. Santos. - Electronic text data. - Boston, Ma : Springer, 2005. - (Microsystems, ISSN 1389-2134 ; 15). - ISBN 978-0-387-25834-8 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектромеханические системы -- нанотехнологии

См. : Текст издания

Доп.точки доступа:
SpringerLink (Online service)
Свободных экз. нет

621.31-181.4
C41


    Cercignani, C.
    Slow rarefied flows [Electronic resource] : theory and application to micro-electro-mechanical systems / C. Cercignani. - Electronic text data. - Basel : Birkhauser Verl., 2006. - (Progress in mathematical physics ; 41). - ISBN 978-3-764-37537-9 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектромеханические системы -- разреженный газ -- течение

См. : Текст издания

Доп.точки доступа:
SpringerLink (Online service)
Свободных экз. нет

621.31-181.4
W82


    Wong, B. T.
    Thermal transport for applications in micro/nanomachining [Electronic resource] / B. T. Wong, M.P. Menguc. - Electronic text data. - Berlin ; Heidelberg : Springer, 2008. - (Microtechnology and mems, ISSN 1615-8326). - ISBN 978-3-540-73607-3 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК

Кл.слова (ненормированные):
тепловой перенос -- микро/наномеханическая обработка

См. : Текст издания

Доп.точки доступа:
Menguc, M.P.; SpringerLink (Online service)
Свободных экз. нет