Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.77.002:669<.>)

Общее количество найденных документов : 1

621.793.184/N25-404101

Nastasi, M.
Ion implantation and synthesis of materials [Electronic resource] / M. Nastasi, J. W. Mayer. - Electronic text data. - Berlin ; Heidelberg : Springer, 2006. - ISBN 978-3-540-45298-0 : Б. ц.

ГРНТИ	47.13.11
УДК	621.3.049.77.002:669

Кл.слова (ненормированные):
ионное внедрение -- электронные материалы -- кремниевые интегральные схемы -- производство -- эпитаксия -- магнетронное распыление

См. : Текст издания

Доп.точки доступа:
Mayer, J.W.; SpringerLink (Online service)
Свободных экз. нет
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)