Лойко, Н. Н.

    Введение в молекулярно-лучевую эпитаксию [Text] : сборник / Под ред.Ю.В.Копаева. - М. : [s. n.], 2000. - 47 с. : ил. - ^aБиблиогр.: с.45-46 (31 назв.). - Б. ц.
В надзаг.: Моск.гос.инж.-физ.ин-т (техн.ун-т),Моск.ин-т электрон.техники (техн.ун-т),Физ.ин-т Рос.АН.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: Эпитаксия

Свободных экз. нет



    Tlaczala, M.

    Epitaksja movpe w technologii heterostruktur zwiazkow aiiibv [Text] : монография / M.Tlaczala. - Wroclaw : Oficyna wydaw. politech. Wroclawskiej, 2002. - 198s. : il. - ISBN 83-7085-633-0 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: Эпитаксия
   Гетероструктуры


Свободных экз. нет



    Емельянов, Виктор Андреевич.

    Эпитаксиальные слои кремния и германия для интегральных микросхем [Text] / В. А. Емельянов, А. С. Турцевич, О. Ю. Наливайко. - Минск : Интегралполиграф, 2008. - 287 с. - ^aБиблиогр.: с. 282-287. - ISBN 978-985-6845-10-2 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: КРЕМНИЙ
   ГЕРМАНИЙ

   ЭПИТАКСИЯ

   ПОДЛОЖКИ

   ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ



Доп.точки доступа:
Турцевич, Аркадий Степанович; Наливайко, Олег Юрьевич
Свободных экз. нет



    Ayers, J. E.

    Heteroepitaxy of semiconductors. Theory, growth and characterization [Text] : монография / J. E. Ayers. - Boca Raton [et al.] : Taylor & Francis group, 2007. - 455 p. : il. - ^aУказ.: с. 441-455. - ISBN 0-8493-7195-3 : р4596.79 р.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: Эпитаксия
   Полупроводники


Свободных экз. нет



    Дубровский, В. Г.

    Теория формирования эпитаксиальных наноструктур [Text] : монография / В. Г. Дубровский. - М. : Физматлит, 2009. - 350 с. : ил. - (Фундаментальная и прикладная физика). - ^aБиблиогр.: с. 338-350. - ISBN 978-5-9221-1069-3 : Б. ц.
    Содержание:


ГРНТИ
УДК
Рубрики: Полупроводники
   Эпитаксия


Свободных экз. нет



    North American conference on molecular beam epitaxy (17th ; 1998).

    Papers from the 17th North American conference on molecular beam epitaxy, 4-7 Oct., 1998 [Text] : материалы временных коллективов / Ed.:R.S.Goldman. - New York : [s. n.], 1999. - A20,905-1308 p. : ill. - (Journal of vacuum science & technology B, ISSN 0734-211X ; 1999,Vol.17,N 3). - ^aБиблиогр. в конце статей. Указ.: с.1304-1308. - Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: Эпитаксия


Доп.точки доступа:
Goldman, R.S.
Свободных экз. нет



    Ratz, A.

    Bonner mathematische Schriften [Text] : diss. / A. Ratz. - Bonn : [s. n.], 2007. - VI, 94 p. : ill. - ^aБиблиогр.: с. 87-94. - ISSN 0524-045X. - Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: Эпитаксия

Свободных экз. нет



   

    Полупроводниковые пленки для микроэлектроники [Text] / отв. ред. Л. Н. Александров, В. И. Петросян ; АН СССР, Ин-т физики полупроводников. - Новосибирск : Наука, Сибир. отд-ние, 1977. - 248 с. - ^aБиблиогр. в конце гл. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   ФАЗОВЫЕ ПЕРЕХОДЫ

   ЭПИТАКСИЯ

Кл.слова (ненормированные):
0 ; Гетероэпитаксия -- 0 ; ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ


Доп.точки доступа:
Александров, Леонид Наумович \.\; Петросян, Вольдемар Иванович
Свободных экз. нет



    Томашпольский, Юрий Яковлевич.

    Пленочные сегнетоэлектрики [Text] / Ю. Я. Томашпольский. - Москва : Радио и связь, 1984. - 192, [1] с. - ^aБиблиогр.: с. 185—191 (127 назв.). - Б. ц.
УДК
Рубрики: СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКИ
   ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

   МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ

   ЭПИТАКСИЯ

Кл.слова (ненормированные):
0 ; Сегнетоэлектрические пленки

Свободных экз. нет



    Папков, Владимир Сергеевич.

    Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе [Text] / В. С. Папков, М. Б. Цыбульников ; под ред. А. Ю. Малинина. - Москва : Энергия, 1979. - 87, [2] с. - ^aБиблиогр.: с. 85—88 (69 назв.). - Б. ц.
УДК
Рубрики: ЭПИТАКСИЯ
   ГЕТЕРОЭПИТАКСИЯ

   КРЕМНИЙ

   ПРИБОРЫ

Кл.слова (ненормированные):
0 ; Гетероэпитаксиальные слои (физика) -- 0 ; Диэлектрические подложки


Доп.точки доступа:
Цыбульников, Марк Борисович; Малинин, А. Ю. \.\
Свободных экз. нет



    Маслов, Вадим Николаевич.

    Репродукционная эпитаксия [Text] / В. Н. Маслов. - Москва : Металлургия, 1981. - 186, [1] с. - ^aБиблиография: с. 181—186 (205 назв.). - Б. ц.
УДК
Рубрики: ЭПИТАКСИЯ
   ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ КРИСТАЛЛЫ

   ИСПОЛЬЗОВАНИЕ


Свободных экз. нет



    Сысоев, И. А.

    Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов А[[p]]III[[/p]] B[[p]]V[[/p]] через тонкую газовую зону [Text] : монография / И. А. Сысоев, Л. С. Лунин ; Сев.-Кавк. федер. ун-т. - Ставрополь : Изд-во СКФУ, 2015. - 96с. : ил. - ^aБиблиогр.: с. 88-92 (43 назв.). - ISBN 978-5-9296-0785-1 : р260 р.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: Твердые растворы
   Эпитаксия



Доп.точки доступа:
Лунин, Л.С.; Северо-Кавказский федеральный ун-т ((Ставрополь))
Свободных экз. нет



    Кузнецов, Владимир Владимирович.

    Межфазные взаимодействия при гетероэпитаксии полупроводниковых твердых растворов [Text] : монография / В. В. Кузнецов, П. П. Москвин. - Санкт-Петербург [и др.] : Лань, 2019. - 374 с. : ил., табл. - (Учебники для вузов. Специальная литература) (Бакалавриат и магистратура). - ^aБиблиография: с. 360—374 (244 назв.). - ISBN 978-5-8114-3809-9 (в переплете) : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
   ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ

   ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ

   ТВЕРДЫЕ РАСТВОРЫ

   ГЕТЕРОЭПИТАКСИЯ

   ЭПИТАКСИЯ

   ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СТРУКТУРЫ

   ГЕТЕРОПЕРЕХОДЫ

   МНОГОКОМПОНЕНТНЫЕ СИСТЕМЫ

   ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ

   ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ КРИСТАЛЛЫ

   МЕЖФАЗНЫЕ ГРАНИЦЫ

   ФАЗОВЫЕ РАВНОВЕСИЯ

   ДИФФУЗИОННЫЕ ПРОЦЕССЫ

   РАСЧЕТА МЕТОДЫ



Доп.точки доступа:
Москвин, Павел Петрович
Свободных экз. нет



    Гиваргизов, Евгений Инвиевич.

    Искусственная эпитаксия — перспективная технология элементной базы микроэлектроники [Text] / Е. И. Гиваргизов ; предисл. Е. П. Велихова. - М. : Наука, 1988. - 175 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА

   ЭПИТАКСИЯ

   ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ



Доп.точки доступа:
Велихов, Евгений Павлович (физик ; род. 1935) \.\
Свободных экз. нет



    Вилисова, Мария Дмитриевна.

    Газофазовая эпитаксия полуизолирующего арсенида галлия [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1966-1984 гг. / М. Д. Вилисова, Л. Г. Лаврентьева. - М. : [s. n.], 1985. - 33 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ
   АРСЕНИД ГАЛЛИЯ

   ГАЗОВАЯ ФАЗА

   ЭПИТАКСИЯ



Доп.точки доступа:
Лаврентьева, Л. Г.
Свободных экз. нет



    Балохонов, Дмитрий Валентинович (кандидат технических наук).

    Метод материального баланса в технологии полупроводников (практические задания) [Text] : учебно-методическое пособие для студентов специальности 1-27 01 01 "Экономика и организация производства (по направлениям)" по направлению 1-27 01 01-08 "Экономика и организация производства (приборостроение)" / Д. В. Балохонов ; Министерство образования Республики Беларусь, Белорусский национальный технический университет, Кафедра "Микро- и нанотехника". - Минск : БНТУ, 2023. - 51, [1] с. : ил., табл. - ^aБиблиография в конце книги (7 назв.). - ISBN 978-985-583-901-0 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

   ПОДЛОЖКИ (электроника)

   ОКСИДИРОВАНИЕ

   ФОТОЛИТОГРАФИЯ

   ЭПИТАКСИЯ

   ТРАВЛЕНИЕ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РАСЧЕТЫ

   МАТЕРИАЛЬНЫЙ БАЛАНС


Свободных экз. нет



   

    Актуальные проблемы физики полупроводников: наноструктуры, эпитаксия, фотоника и электроника [Text] : научные результаты ИФП СО РАН за 2022 год / Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук ; под редакцией А. В. Латышева. - Новосибирск : Параллель, 2023. - 231с. : ил., цв. ил. - ^aБиблиогр.: с. 184-207. - ISBN 978-5-98901-295-4 : р300 р.
    Содержание:


ГРНТИ
УДК
Рубрики: Наноструктурные материалы полупроводниковые
   Эпитаксия

   Фотоника

   Электроника

Кл.слова (ненормированные):
1 ; низкоразмерные системы -- 1 ; электронная компонентная база -- 1 ; новые материалы -- 1 ; поверхность -- 1 ; гетерограницы -- 1 ; структурные дефекты -- 1 ; полупроводниковая оптоэлектроника -- 1 ; полупроводниковая фотоэлектроника -- 1 ; оптика -- 1 ; лазерная спектроскопия -- 1 ; квантовая информатика -- 1 ; моделирование физических процессов -- 1 ; научное приборостроение


Доп.точки доступа:
Латышев, Александр Васильевич \.\; Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова ((Новосибирск))
Свободных экз. нет