Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Электронные радиационные технологии [Text] : учебник для бакалавриата и магистратуры / В. И. Иванов [и др.] ; под редакцией А. С. Сигова. - Москва : Юрайт, 2019. - 320, [1] с. : ил., табл. - (Университеты России). - ^aБиблиография: с. 314—315 (23 назв.). - ISBN 978-5-9916-7154-5 (в переплете) : Б. ц. ГРНТИ ^a47.33.31^v6 ^a47.14.17^v6 ^a47.01.33^v6 УДК ^a621.396.6-027.31(075)^v4^zrus ^a621.384(075)^v4^zrus ^a621.3.049.77(075)^v4^zrus Рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОННАЯ АППАРАТУРА    КОНСТРУИРОВАНИЕ    ЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ    ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ    ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ    ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    РАДИАЦИОННО-ХИМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ    ТЕХНИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ    ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ    ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ    РЕНТГЕНОВСКАЯ МИКРОСКОПИЯ    РЕНТГЕНОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ    ВЫСОКООМНЫЕ МАТЕРИАЛЫ    РАДИОКЕРАМИКА    ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ    ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА    ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ НАПЛАВКА    ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ СВАРКА    ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ ПРИБОРЫ    ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУШКИ (техн.)    ЭЛЕКТРОННЫЕ УСКОРИТЕЛИ    ТЕХНИКА БЕЗОПАСНОСТИ Доп.точки доступа: Иванов, Владимир Иванович (доктор технических наук); Лучников, Петр Александрович; Сигов, Александр Сергеевич (доктор физико-математических наук ; род. 1945); Суржиков, Анатолий Петрович Свободных экз. нет

Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника).     Производство гибридных интегральных схем [Text] : учебное пособие / Ю. А. Родионов. - Москва : Инфра-Инженерия, 2020. - 298 с. : ил., цв. ил., табл. - ISBN 978-5-9729-0460-0 (в переплете) : Б. ц. ГРНТИ ^a47.33.31^v6 ^a47.13^v6 ^a47.01.33^v6 УДК ^a621.3.049.776(075)^v4^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    ГИБРИДНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ    ТОНКИЕ ПЛЕНКИ    КОНФИГУРАЦИИ    ФОТОЛИТОГРАФИЯ    ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ    РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ    ТОПОЛОГИЧЕСКОЕ ПРОЕКТИРОВАНИЕ    РАСЧЕТА МЕТОДЫ    ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ    ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ РЕЗИСТОРЫ    ПЛЕНОЧНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ    КОНТАКТНАЯ ЭЛЕКТРОСВАРКА    СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА    СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ    МИКРОВОЛНОВОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ Свободных экз. нет

Моро, Уэйн.     Микролитография: принципы, методы, материалы [Text] : в 2 ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990. - 1239 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.75.002:776^v3^zrus Рубрики: ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ    МИКРОЛИТОГРАФИЯ Свободных экз. нет

Попов, Виктор Кузьмич.     Электронная литография [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1973-1985 гг. / В. К. Попов, С. Н. Ячменев. - М. : [s. n.], 1985. - 51 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.77.002:776^v3^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ Доп.точки доступа: Ячменев, Станислав Николаевич Свободных экз. нет

Электронная литография и ее применение в микроэлектронике [Text] : материалы Всесоюз. науч.-техн. конф. 23-24 окт. 1975 г. - М. : [s. n.], 1976. - 53 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.77.002:776^v3^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    МИКРОЛИТОГРАФИЯ    ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ    ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ Свободных экз. нет

Анализ производительности электронно-лучевого литографического оборудования [Text] : обзор / И. В. Панкратов [и др.]. - М. : [s. n.], 1986. - 44 с. - Б. ц. УДК ^a621.382.002.2(048.8)^v3^zrus ^a776(048.8)^v3^zrus Рубрики: АНАЛИЗ    ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ ОБОРУДОВАНИЯ    ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ ПРИБОРЫ    ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ Доп.точки доступа: Панкратов, И. В. Свободных экз. нет

Попов, Виктор Кузьмич.     Электронная литография [Text] : обзор / В. К. Попов, М. С. Виноградова. - М. : [s. n.], 1981. - 53 с. - Б. ц. УДК ^a621.382.002:776(048.8)^v3^zrus Рубрики: ЭЛЕКТРОННОЕ ПРИБОРОСТРОЕНИЕ    ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ Доп.точки доступа: Виноградова, Мария Сергеевна Свободных экз. нет

Васичев, Б. Н.     Электронолитография [Text] / Б. Н. Васичев. - М. : Знание, 1982. - 64 с. - Б. ц. УДК ^a621.383.8^v3^zrus Рубрики: ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ    ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ    ПРЕЦИЗИОННАЯ ОБРАБОТКА Свободных экз. нет