Bednarr, B.     Resists in microlithography and printing [Text] : монография / Transl.from czech. by M.Smetanova. - 2nd rev.engl.ed. - [S. l. : s. n.]. - 376 p. : ill. - ISBN 0-444-98846-7 : Б. ц. ; Библиогр.в конце глав. ГРНТИ ^a47.13.17 УДК ^a621.3.049.77.002:776 Рубрики: <Фоторезисты> Доп.точки доступа: Kralicek, J.; Zachoval, J. Свободных экз. нет

Savander, Pekka.     Micro-optical components in photoresist [Text] : acad. diss / Pekka Savander. - Joensuu : [s. n.], 1993. - Разд. паг : ил. - (Dissertations / Univ. of Jensuu, ISSN 12364673;3). - ISBN 951-708-170-7 : Б. ц. ; Библиогр. в конце разд Перевод заглавия: 0 ^aМикро-оптические компоненты в фоторезисте:Дисс    Перевод заглавия: 0 ^aМикро-оптические компоненты в фоторезисте:Дисс ГРНТИ ^a47.37.33 Рубрики: <Фоторезисты> Свободных экз. нет

Moders, N.     Spatially-resolved x-ray spectroscopy at CAMD [Text] : diss. / N. Moders, H. O. Moser, V. Saile. - Karlsruhe : [s. n.], 1999. - 96 p. : ill. - (Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum(Karlsruhe), ISSN 0947-8620 ; 6314). - ^aПарал. загл. нем. Рез. нем. Библиогр.: с.91-96. - Б. ц. ГРНТИ ^a47.13.11 УДК ^a621.3.049.75.002(043) Рубрики: Фоторезисты Доп.точки доступа: Moser, H.O.; Saile, V. Свободных экз. нет

Защитные свойства пленок фоторезистов и методы их контроля [Text] : обзор / Ю. А. Микиртумов. - М. : [s. n.], 1986. - 40 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.77.002:771.52^v3^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    ФОТОРЕЗИСТЫ    ТОНКИЕ ПЛЕНКИ    ЗАЩИТА Доп.точки доступа: Микиртумов, Ю. А. Свободных экз. нет

Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии [Text] / Е. Г. Гук [и др.] ; отв. ред. А. В. Ельцов. - Л. : Наука, Ленингр. отд-ние, 1984. - 117 с. - Б. ц. УДК ^a621.382.002.3^v3^zrus Рубрики: ФОТОЛИТОГРАФИЯ    ДИФФУЗИЯ    СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ    ФОТОРЕЗИСТЫ    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ    ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА Доп.точки доступа: Гук, Елена Григорьевна; Ельцов, Андрей Васильевич \.\ Свободных экз. нет

Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника).     Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем [Text] : учебное пособие / Ю. А. Родионов. - Санкт-Петербург [и др.] : Лань, 2021. - 218 с. : ил., табл. - (Высшее образование). - ^aБиблиография: с. 216 (8 назв.). - ISBN 978-5-8114-5788-5 (в переплете) : Б. ц. ГРНТИ ^a47.33.31^v6 ^a47.13.11^v6 ^a47.01.33^v6 ^a61.31.59^v6 УДК ^a621.382.049.77:621.357(075)^v4^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ    ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА    ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ    ХИМИЧЕСКИЕ РЕАКТИВЫ    ХИМИЧЕСКАЯ ОЧИСТКА    ФОТОРЕЗИСТЫ    ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА    ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ    ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ    ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ    ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ Свободных экз. нет