Babin, A. A. Nd laser fifth harmonic interaction with polymer films [Text] : препринт / A. A. Babin, N. M. Bityurin, A. V. Polyakov. - Nizhny Novgorod, 1992. - 18 p. - (Препринт ; N313). - Б. ц. ; Bibliogr.: p. 16-18 (23 nazv.) Перевод заглавия: ^aND laser fifth harmonic interaction with polymer films: Preprint Перевод заглавия: ^aND laser fifth harmonic interaction with polymer films: Preprint
Доп.точки доступа: Bityurin, N.M.; Polyakov, A.V. Свободных экз. нет |
Ивин, В. В. Использование математического моделирования в исследовании, разработке и оптимизации фотолитографических процессов [Text] : препринт / В. В. Ивин, Т. М. Махвиладзе. - М., 2000. - 30 c. : ил. - (Препринт ; N22). - Б. ц. Перевод заглавия: ^aUse of simulation in investigation and development and optimization of photolithogrophy processes Содержание: Перевод заглавия: ^aUse of simulation in investigation and development and optimization of photolithogrophy processes
Доп.точки доступа: Махвиладзе, Т.М. Свободных экз. нет |
Ивин, В. В. Исследование предельных возможностей использования оптической литографии в области критических размеров менее 0,2 мкм с помощью математического моделирования [Text] : препринт / В. В. Ивин, Т. М. Махвиладзе. - М., 2000. - 21 с. : ил. - (Препринт ; N23). - Б. ц. Перевод заглавия: ^aInvestigation of possible limits of use of optical lithography with sub - 0,2 ggm with the help of mathematical simulation Содержание: Перевод заглавия: ^aInvestigation of possible limits of use of optical lithography with sub - 0,2 ggm with the help of mathematical simulation
Доп.точки доступа: Махвиладзе, Т.М. Свободных экз. нет |
Ануфриенко, В. В. Процессы и оборудование фотолитографической обработки [Text] : учеб.пособие по курсу "Технол.процессы и оборудование микроэлектроники" / В. В. Ануфриенко. - М. : [s. n.], 1998. - 66 с. : ил. - ^aБиблиогр.:с.65(6 назв.). - ISBN 5-7256-0188-9 : Б. ц. ; В надзаг.:Моск.гос.ин-т электронной техники(техн.ун-т).
Фотолитографическое оборудование Свободных экз. нет |
Brauch, I. H. Wissenbasierte Modellierung des LIGA-Fertigungsprozesses [Text] : diss. / I. H. Brauch. - Karlsruhe : [s. n.], 1994. - 89 S. : Ill. - (Berichte KfK / Kernforschungszentrum(Karlsruhe), ISSN 0303-4003 ; 5427). - ^aРез.англ.Библиогр.:с.87-89. - Б. ц.
Свободных экз. нет |
Chung, S. -J. Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithographie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists [Text] : материал технической информации / S. -J. Chung, H. Hein, J. Schulz. - Karlsruhe : [s. n.], 1998. - 94 S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum(Karlsruhe), ISSN 0947-8620 ; 6111). - ^aБиблиогр.:с.87-89. - ISSN 0947-8620. - Б. ц.
Доп.точки доступа: Hein, H.; Schulz, J. Свободных экз. нет |
Лыньков, Л. М. Субмикронная литография [Text] : сборник / Л. М. Лыньков, С. Л. Прищепа. - Минск : [s. n.], 1999. - 205 с. : ил. - ^aВ надзаг.Белорусский гос.ун-т информатики и радиоэлектроники.Библиогр.:с.197-205. - ISBN 985-444-036-2 : Б. ц.
Фотолитография Рентгенолитография Ионолитография Доп.точки доступа: Прищепа, С.Л. Свободных экз. нет |
Rogers, J. A. Unconventional nanopatterning techniques and applications [Electronic resource] : монография / J. A. Rogers, H. H. Lee. - Electronic text data. - Hoboken, NJ : John Wiley & Sons, 2008. - ISBN 978-0-470-40578-9 : Б. ц.
Фотолитография Доп.точки доступа: Lee, H.H. Свободных экз. нет |
Курносов, Анатолий Иванович. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Text] : учебное пособие для вузов / А. И. Курносов, В. В. Юдин. - Изд. 3-е, переработанное и дополненное. - Москва : Высшая школа, 1986. - 367, [1] с. - ^aБиблиография: с. 363 (11 назв.). - ^aПредметный указатель: с. 364—365. - Б. ц.
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ФОТОЛИТОГРАФИЯ Кл.слова (ненормированные): 0 ; ПОЛУПРОВОДНИКОВОЕ ПРОИЗВОДСТВО Доп.точки доступа: Юдин, В. В. Свободных экз. нет |
Базовые технологические процессы изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем на кремнии [Text] : [монография] / [О. Ю. Наливайко и др.] ; под редакцией А. С. Турцевича. - Минск : Интегралполиграф, 2013. - 728, [2] с. : ил., табл. - ^aБиблиография в конце глав. - ISBN 978-985-6845-45-4 : Б. ц.
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ ФОТОЛИТОГРАФИЯ Доп.точки доступа: Наливайко, Олег Юрьевич; Солодуха, Виталий Александрович (электроника); Пилипенко, Владимир Александрович (доктор технических наук ; род. 1949); Колос, Владимир Владимирович (кандидат физико-математических наук); Турцевич, Аркадий Степанович (доктор технических наук ; род. 1958) \.\ Свободных экз. нет |
Трапашко, Георгий Алексеевич. Методы оптико-электронной регистрации критических размеров субмикронных планарных структур изделий микроэлектроники [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Трапашко Георгий Алексеевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2014. - 21 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 17—18 (16 назв.). - Б. ц. ; Резюме на белорусском, русском и английском языках
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА ПЛАНАРНЫЕ СТРУКТУРЫ ФОТОШАБЛОНЫ ФОТОЛИТОГРАФИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ ФОТОМЕТРИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ АВТОРЕФЕРАТЫ Свободных экз. нет |
Агейченко, Александр Степанович (электроника). Системы проекционного переноса широкоформатных изображений в технологии сборки СБИС методом перевернутого кристалла [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Агейченко Александр Степанович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2014. - 24 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 17—21 (33 назв.). - Б. ц. ; Резюме на белорусском, русском и английском языках
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ КРИСТАЛЛЫ КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ФОТОЛИТОГРАФИЯ ПРОЕЦИРОВАНИЕ АВТОРЕФЕРАТЫ Кл.слова (ненормированные): 0 ; Степперы Свободных экз. нет |
Курносов, Анатолий Иванович. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Text] : учебное пособие для средних профессионально-технических училищ / А. И. Курносов. - Москва : Высшая школа, 1980. - 327 с. : ил., табл. - (Профтехобразование. Полупроводники). - ^aБиблиография: с. 324. - Б. ц.
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СТРУКТУРЫ ФОТОЛИТОГРАФИЯ ЭЛЕКТРОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ ВСПОМОГАТЕЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ ЭЛЕКТРОЛИТЫ КОНТРОЛЬ КАЧЕСТВА Свободных экз. нет |
Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации [Text] : учебно-методическое пособие для специальностей 1-41 01 02 "Микро- и наноэлектронные технологии и системы", 1-41 01 03 "Квантовые информационные системы" / [Ю. А. Родионов и др.] ; Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Факультет радиотехники и электроники, Кафедра микро- и наноэлектроники. - Минск : БГУИР, 2017. - 69, [2] с. : ил. - ^aБиблиография в конце книги (7 назв.). - ISBN 978-985-543-249-5 : Б. ц.
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ЛИТОГРАФИЯ (электроника) ФОТОЛИТОГРАФИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ Доп.точки доступа: Родионов, Юрий Анатольевич (микроэлектроника); Котов, Дмитрий Анатольевич (кандидат технических наук); Плебанович, Владимир Иванович; Ковальчук, Наталья Станиславовна (кандидат технических наук) Свободных экз. нет |
Мартынов, Валерий Владимирович (доктор технических наук). Технология сверхбольших интегральных схем и оптико-механическое оборудование для микро- и наноэлектроники [Text] : [монография] / В. В. Мартынов, Я. И. Точицкий ; Национальная академия наук Беларуси. - Минск : Беларуская навука, 2018. - 466, [1] с. : ил., цв. ил., табл., схемы. - ^aБиблиография: с. 458—461 (100 назв.). - ISBN 978-985-08-2323-6 (в переплете) : Б. ц. ; На обложке: Национальная академия наук Беларуси — 90 лет
НАНОЭЛЕКТРОНИКА ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ МУЛЬТИПЛИКАТОРЫ (техн.) ФОТОЛИТОГРАФИЯ ОПТИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ Доп.точки доступа: Точицкий, Яков Иванович (кандидат технических наук) Свободных экз. нет |
Хорин, Иван Анатольевич. Технологии электронной компонентной базы [Text] : учебное пособие / И. А. Хорин. - Саратов : Ай Пи Эр Медиа, 2018. - 275, [1] с. : ил., цв. ил., табл. - (Университетский учебник). - ^aБиблиография: с. 275—276 (27 назв.). - ISBN 978-5-4486-0210-8 (в переплете) : Б. ц.
КРЕМНИЕВЫЕ ЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ КРЕМНИЙ-НА-ИЗОЛЯТОРЕ ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ВЫРАЩИВАНИЕ КРИСТАЛЛОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ ЛЕГИРОВАНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ТОЛСТОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЛИТОГРАФИЯ ФОТОЛИТОГРАФИЯ ТРАВЛЕНИЕ ОСАЖДЕНИЕ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ НАНОСТРУКТУРЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ СБОРОЧНО-МОНТАЖНЫЕ РАБОТЫ Свободных экз. нет |
Мылов, Геннадий Васильевич (кандидат технических наук). Производство электроники [Text] : [монография] / Г. В. Мылов, А. М. Медведев. - Москва : Горячая линия — Телеком, 2020. - 369 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 346—347 (36 назв.). - ISBN 978-5-9912-0848-2 (в переплете) : Б. ц.
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ДИФФУЗИОННЫЕ ПРОЦЕССЫ ТЕРМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ УЛЬТРАЗВУКОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ФОТОЛИТОГРАФИЯ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ НАНОТЕХНОЛОГИИ ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ КОМПОЗИЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ ПЕЧАТНЫЕ ПЛАТЫ ГИБКИЕ ПЕЧАТНЫЕ ПЛАТЫ ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ УЗЛЫ (электроника) КОНСТРУИРОВАНИЕ ПЕЧАТНЫЙ МОНТАЖ МЕЖСОЕДИНЕНИЯ (электротехн.) ТЕХНИЧЕСКИЕ ПРОЕКТЫ АВТОМАТИЗИРОВАННОЕ ПРОЕКТИРОВАНИЕ Доп.точки доступа: Медведев, Аркадий Максимович (доктор технических наук) Свободных экз. нет |
Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника). Производство гибридных интегральных схем [Text] : учебное пособие / Ю. А. Родионов. - Москва : Инфра-Инженерия, 2020. - 298 с. : ил., цв. ил., табл. - ISBN 978-5-9729-0460-0 (в переплете) : Б. ц.
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ГИБРИДНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ КОНФИГУРАЦИИ ФОТОЛИТОГРАФИЯ ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ ТОПОЛОГИЧЕСКОЕ ПРОЕКТИРОВАНИЕ РАСЧЕТА МЕТОДЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ РЕЗИСТОРЫ ПЛЕНОЧНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ КОНТАКТНАЯ ЭЛЕКТРОСВАРКА СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ МИКРОВОЛНОВОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ Свободных экз. нет |
Гранкин, И. М. Высокоразрешающая неорганическая фотолитография [Text] / И. М. Гранкин, А. В. Коломейко, В. П. Погребняк. - Киев : Вищ. шк., Изд-во при Киев. гос. ун-те, 1983. - 52 с. - Б. ц.
ФОТОЛИТОГРАФИЯ Доп.точки доступа: Коломейко, А. В.; Погребняк, В. П. Свободных экз. нет |
Радиационная микролитография в процессах изготовления изделий функциональной электроники [Text] / В. В. Новиков [и др.]. - Л. : ЛДНТП, 1988. - 29 с. - Б. ц.
МИКРОЛИТОГРАФИЯ ФОТОЛИТОГРАФИЯ ФУНКЦИОНАЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ Доп.точки доступа: Новиков, Владимир Васильевич (доктор физико-математических наук) Свободных экз. нет |