Трапашко, Георгий Алексеевич. Методы оптико-электронной регистрации критических размеров субмикронных планарных структур изделий микроэлектроники [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Трапашко Георгий Алексеевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2014. - 21 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 17—18 (16 назв.). - Б. ц. ; Резюме на белорусском, русском и английском языках
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА ПЛАНАРНЫЕ СТРУКТУРЫ ФОТОШАБЛОНЫ ФОТОЛИТОГРАФИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ ФОТОМЕТРИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ АВТОРЕФЕРАТЫ Свободных экз. нет |
Технологии субмикронных структур микроэлектроники [Text] / [А. П. Достанко и др.] ; под редакцией А. П. Достанко. - Минск : Беларуская навука, 2018. - 269, [1] с. : 214 ил., цв. ил., схем, 39 табл. - ^aБиблиография в конце глав (всего 361 назв.). - ISBN 978-985-08-2298-7 (в переплете) : Б. ц. ; Авторы указаны на обороте титульного листа, в оглавлении. ; На обложке: Национальная академия наук Беларуси — 90 лет Содержание:
ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ЗАПОМИНАЮЩИЕ УСТРОЙСТВА МНОГОКРИСТАЛЬНЫЕ МОДУЛИ СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОПРОЦЕССОРЫ СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ Доп.точки доступа: Достанко, Анатолий Павлович (доктор технических наук ; род. 1937); Бордусов, Сергей Валентинович (доктор технических наук ; род. 1955); Голосов, Дмитрий Анатольевич (кандидат технических наук ; род. 1971); Завадский, Сергей Михайлович (кандидат технических наук); Колос, Владимир Владимирович (кандидат физико-математических наук); Купо, Александр Николаевич (кандидат технических наук ; род. 1979); Ланин, Владимир Леонидович (доктор технических наук, электроника ; род. 1948); Лушакова, Мария Сергеевна (электронная техника); Мадвейко, Сергей Игоревич (кандидат технических наук ; род. 1984); Мельников, Сергей Николаевич (радиоэлектроника); Петлицкий, Александр Николаевич (кандидат физико-математических наук); Петухов, Игорь Борисович (кандидат технических наук); Солодуха, Виталий Александрович (кандидат технических наук, электроника); Телеш, Евгений Владимирович Свободных экз. нет |
Кондрашин, Александр Алексеевич (кандидат технических наук). Современные технологии изготовления трехмерных электронных устройств (ТЭУ) [Text] : учебное пособие для обучающихся по образовательным программам высшего образования уровня бакалавриата и магистратуры по направлению подготовки "Электроника и наноэлектроника" / А. А. Кондрашин, А. Н. Лямин, В. В. Слепцов. - 2-е изд., исправленное и дополненное. - Москва : Техносфера, 2019. - 209 с. : ил., цв. ил., табл. - (Мир электроники ; VII—62) (Рекомндовано УМО). - ^aБиблиография: с. 201—209 (100 назв.). - ISBN 978-5-94836-504-6 (в переплете) : Б. ц.
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА ТРЕХМЕРНЫЕ ОБЪЕКТЫ ТРЕХМЕРНЫЕ ПРИНТЕРЫ АДДИТИВНОЕ ПРОИЗВОДСТВО ПЛОСКАЯ ПЕЧАТЬ СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ АДДИТИВНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ КОМБИНИРОВАННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ТЕРМИЧЕСКОЕ ВОЗДЕЙСТВИЕ ФОТОПОЛИМЕРИЗАЦИЯ Кл.слова (ненормированные): 0 ; 3D-MID технологии Доп.точки доступа: Лямин, Андрей Николаевич (кандидат технических наук); Слепцов, Владимир Владимирович (доктор технических наук) Свободных экз. нет |
Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники [Text] / [А. П. Достанко и др.] ; под общей редакцией А. П. Достанко. - Минск : Беларуская навука, 2020. - 259, [1] с. : ил., цв. ил., табл. - ^aБиблиография в конце глав и в подстрочных примечаниях. - ISBN 978-985-08-2521-6 (в переплете) : Б. ц.
ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА МНОГОКРИСТАЛЬНЫЕ МОДУЛИ СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ ИННОВАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ ЛИТОГРАФИЯ (электроника) Доп.точки доступа: Достанко, Анатолий Павлович (доктор технических наук ; род. 1937); Аваков, Сергей Мирзоевич (доктор технических наук, электроника ; род. 1955); Голосов, Дмитрий Анатольевич (кандидат технических наук ; род. 1971); Емельянов, Виктор Владимирович; Завадский, Сергей Михайлович (кандидат технических наук); Колос, Владимир Владимирович (кандидат физико-математических наук); Ланин, Владимир Леонидович (доктор технических наук, электроника ; род. 1948); Мадвейко, Сергей Игоревич (кандидат технических наук ; род. 1984); Мельников, Сергей Николаевич (кандидат технических наук); Никитюк, Юрий Валерьевич (кандидат физико-математических наук); Петлицкий, Александр Николаевич (кандидат физико-математических наук); Петухов, Игорь Борисович (кандидат технических наук); Пилипенко, Владимир Александрович (доктор технических наук ; род. 1949); Плебанович, Владимир Иванович; Солодуха, Виталий Александрович (кандидат технических наук, электроника); Соколов, Сергей Иванович (физик); Телеш, Евгений Владимирович; Шершнев, Евгений Борисович (кандидат технических наук, физик ; род. 1960) Свободных экз. нет |
Взаимодействие электронных пучков с поверхностью твердого тела применительно к разработке оптимальной субмикронной литографии [Text] : обзор / Ю. В. Гуляев, Р. К. Яфаров. - М. : [s. n.], 1989. - 52 с. - Б. ц.
СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ ТВЕРДЫЕ ТЕЛА ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУЧКИ ЛИТОГРАФИЯ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ЭЛЕМЕНТАРНЫХ ЧАСТИЦ Доп.точки доступа: Гуляев, Юрий Васильевич (доктор физико-математических наук ; род. 1935); Яфаров, Равиль Кяшшафович (доктор технических наук ; род. 1948) Свободных экз. нет |
Технология субмикронной фотолитографии: современной состояние, перспективы развития и применения [Text] : обзор / Ю. С. Боков [и др.]. - М. : [s. n.], 1988. - 35 с. - Б. ц.
МИКРОЛИТОГРАФИЯ ФОТОЛИТОГРАФИЯ СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ Доп.точки доступа: Боков, Юрий Сергеевич Свободных экз. нет |
Соколов, Сергей Иванович (кандидат технических наук). Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Соколов Сергей Иванович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2023. - 23 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 17—20 (34 назв.). - Б. ц. ; Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках
ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ КВАРЦ КВАРЦЕВОЕ СТЕКЛО ПОДЛОЖКИ (электроника) ФОТОШАБЛОНЫ ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА ЛАЗЕРНАЯ РЕЗКА ЛАЗЕРНАЯ СВАРКА ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ СВАРКА ТЕМПЕРАТУРНЫЙ РЕЖИМ ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЕ КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МЕТОД Свободных экз. нет |