Светочувствительные полимерные материалы [Text] / Б. Беднарж [и др.] ; под ред. А. В. Ельцова. - Ленинград : Химия, Ленингр. отд-ние, 1985. - 297с. - ^aБиблиогр.: с. 283-297. - Б. ц.
РЕЗИСТЫ ЛИТОГРАФИЯ (печать) ФОТОРЕЗИСТОРЫ Кл.слова (ненормированные): 0 ; Светочувствительные материалы Доп.точки доступа: Беднарж, Богумил; Ельцов, Андрей Васильевич; Заховал, Яромир; Краличек, Ярослав Свободных экз. нет |
Боков, Юрий Сергеевич. Многослойные пленки резистов в микролитографии [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1975-1985 гг. / Ю. С. Боков, В. М. Фролов. - М. : [s. n.], 1985. - 63 с. - Б. ц.
ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА МИКРОЛИТОГРАФИЯ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ МНОГОСЛОЙНЫЕ МАТЕРИАЛЫ (техн.) РЕЗИСТЫ Доп.точки доступа: Фролов, В. М. Свободных экз. нет |