Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников [Text] / Б. Д. Луфт [и др.] ; под ред. Б. Д. Луфт. - Москва : Радио и связь, 1982. - 136 с. - ^aБиблиогр.: с. 129-135 (137 назв.). - Б. ц.
ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ Кл.слова (ненормированные): 0 ; Методы обработки Доп.точки доступа: Луфт, Берта Давыдовна; Перевощиков, Виктор Александрович; Возмилова, Лидия Николаевна; Свердлин, И.А. Свободных экз. нет |
Трапашко, Георгий Алексеевич. Методы оптико-электронной регистрации критических размеров субмикронных планарных структур изделий микроэлектроники [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Трапашко Георгий Алексеевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2014. - 21 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 17—18 (16 назв.). - Б. ц. ; Резюме на белорусском, русском и английском языках
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА ПЛАНАРНЫЕ СТРУКТУРЫ ФОТОШАБЛОНЫ ФОТОЛИТОГРАФИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ ФОТОМЕТРИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ АВТОРЕФЕРАТЫ Свободных экз. нет |
Папина, Сергей Степанович (машиностроение). Комбинированные приводы координатных систем для прецизионного разделения полупроводниковых пластин на кристаллы [Text] : монография / С. С. Папина, В. Л. Басинюк ; Национальная академия наук Беларуси, Объединенный институт машиностроения Национальной академии наук Беларуси. - Минск : РИПО, 2016. - 117 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 109?117 (91 назв.). - ISBN 978-985-503-628-0 : Б. ц.
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ КРИСТАЛЛЫ ПРЕЦИЗИОННАЯ ОБРАБОТКА ПРЕЦИЗИОННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ КОМБИНИРОВАННЫЕ ПРИВОДЫ МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ Доп.точки доступа: Басинюк, Владимир Леонидович (доктор технических наук) Свободных экз. нет |
Папина, Сергей Степанович (машиностроение). Управление параметрами механических колебаний в прецизионных приводах линейных координатных систем [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Папина Сергей Степанович ; Государственное научное учреждение "Объединенный институт машиностроения Национальной академии наук Беларуси". - Минск : [s. n.], 2019. - 21, [1] с. : ил. - ^aБиблиография: с. 17—19 (22 назв.). - Б. ц. ; Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках
ТВЕРДОТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ МЕХАНИЧЕСКИЕ КОЛЕБАНИЯ ПРИВОДЫ (техн.) ПРЕЦИЗИОННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ЗУБЧАТО-РЕМЕННЫЕ ПЕРЕДАЧИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ Свободных экз. нет |
Бодров, Евгений Эдуардович. Основы технологии электронной компонентной базы [Text] : учебное пособие / Е. Э. Бодров. - Москва : Инфра-Инженерия, 2022. - 201 с. : ил., цв. ил., табл. - ^aБиблиография: с. 198 (5 назв.). - ISBN 978-5-9729-0846-2 (в переплете) : Б. ц.
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ РЕЗИСТОРЫ КОНДЕНСАТОРЫ ИНДУКТИВНОСТЬ МОП-СТРУКТУРЫ КМОП (технология) ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ ОКСИДИРОВАНИЕ ТЕРМИЧЕСКОЕ НАПЫЛЕНИЕ ВАКУУМНО-ДУГОВОЕ НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ ПРИМЕСНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ ДИФФУЗИЯ ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ ИЗОЛЯЦИЯ (техн.) МЕТАЛЛИЗАЦИЯ КОНТРОЛЬ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ВЫПУСК ПРОДУКЦИИ ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ФОТОЛИТОГРАФИЯ Свободных экз. нет |