Технологии субмикронных структур микроэлектроники [Text] / [А. П. Достанко и др.] ; под редакцией А. П. Достанко. - Минск : Беларуская навука, 2018. - 269, [1] с. : 214 ил., цв. ил., схем, 39 табл. - ^aБиблиография в конце глав (всего 361 назв.). - ISBN 978-985-08-2298-7 (в переплете) : Б. ц.
; Авторы указаны на обороте титульного листа, в оглавлении. ; На обложке: Национальная академия наук Беларуси — 90 лет
    Содержание:


ГРНТИ
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА

   ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА

   СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ЗАПОМИНАЮЩИЕ УСТРОЙСТВА

   МНОГОКРИСТАЛЬНЫЕ МОДУЛИ

   СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ

   СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   МИКРОПРОЦЕССОРЫ

   СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ



Доп.точки доступа:
Достанко, Анатолий Павлович (доктор технических наук ; род. 1937); Бордусов, Сергей Валентинович (доктор технических наук ; род. 1955); Голосов, Дмитрий Анатольевич (кандидат технических наук ; род. 1971); Завадский, Сергей Михайлович (кандидат технических наук); Колос, Владимир Владимирович (кандидат физико-математических наук); Купо, Александр Николаевич (кандидат технических наук ; род. 1979); Ланин, Владимир Леонидович (доктор технических наук, электроника ; род. 1948); Лушакова, Мария Сергеевна (электронная техника); Мадвейко, Сергей Игоревич (кандидат технических наук ; род. 1984); Мельников, Сергей Николаевич (радиоэлектроника); Петлицкий, Александр Николаевич (кандидат физико-математических наук); Петухов, Игорь Борисович (кандидат технических наук); Солодуха, Виталий Александрович (кандидат технических наук, электроника); Телеш, Евгений Владимирович
Свободных экз. нет



   

    Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники [Text] / [А. П. Достанко и др.] ; под общей редакцией А. П. Достанко. - Минск : Беларуская навука, 2020. - 259, [1] с. : ил., цв. ил., табл. - ^aБиблиография в конце глав и в подстрочных примечаниях. - ISBN 978-985-08-2521-6 (в переплете) : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА

   МНОГОКРИСТАЛЬНЫЕ МОДУЛИ

   СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ

   ИННОВАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА

   ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ

   ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

   ЛИТОГРАФИЯ (электроника)



Доп.точки доступа:
Достанко, Анатолий Павлович (доктор технических наук ; род. 1937); Аваков, Сергей Мирзоевич (доктор технических наук, электроника ; род. 1955); Голосов, Дмитрий Анатольевич (кандидат технических наук ; род. 1971); Емельянов, Виктор Владимирович; Завадский, Сергей Михайлович (кандидат технических наук); Колос, Владимир Владимирович (кандидат физико-математических наук); Ланин, Владимир Леонидович (доктор технических наук, электроника ; род. 1948); Мадвейко, Сергей Игоревич (кандидат технических наук ; род. 1984); Мельников, Сергей Николаевич (кандидат технических наук); Никитюк, Юрий Валерьевич (кандидат физико-математических наук); Петлицкий, Александр Николаевич (кандидат физико-математических наук); Петухов, Игорь Борисович (кандидат технических наук); Пилипенко, Владимир Александрович (доктор технических наук ; род. 1949); Плебанович, Владимир Иванович; Солодуха, Виталий Александрович (кандидат технических наук, электроника); Соколов, Сергей Иванович (физик); Телеш, Евгений Владимирович; Шершнев, Евгений Борисович (кандидат технических наук, физик ; род. 1960)
Свободных экз. нет



    Левин, С.

    Основы полупроводниковой микроэлектроники [Text] / С. Левин. - М. : Совет. радио, 1966. - 244 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА


Свободных экз. нет



   

    Полупроводниковая микроэлектроника [Text] : межвуз. сб. науч. тр. / отв. ред. В. С. Шадрин. - Новосибирск : НЭТИ, 1989. - 113 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ



Доп.точки доступа:
Шадрин, Владимир Степанович \.\
Свободных экз. нет



    Сысоев, Валерий Васильевич.

    Автоматизированное проектирование линий и комплектов оборудования полупроводникового и микроэлектронного производства [Text] / В. В. Сысоев. - М. : Радио и связь, 1982. - 119 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   ПОЛУПРОВОДНИКИ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

   АВТОМАТИЗИРОВАННОЕ ПРОЕКТИРОВАНИЕ


Свободных экз. нет



    Курносов, Анатолий Иванович.

    Полупроводниковая микроэлектроника [Text] / А. И. Курносов, Э. Н. Воронков. - М. : Воениздат, 1973. - 240 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ



Доп.точки доступа:
Воронков, Эдуард Николаевич (доктор физико-математических наук)
Свободных экз. нет



    Соколов, Сергей Иванович (кандидат технических наук).

    Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Соколов Сергей Иванович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2023. - 23 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 17—20 (34 назв.). - Б. ц.
; Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках

ГРНТИ
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ

   СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   КВАРЦ

   КВАРЦЕВОЕ СТЕКЛО

   ПОДЛОЖКИ (электроника)

   ФОТОШАБЛОНЫ

   ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА

   ЛАЗЕРНАЯ РЕЗКА

   ЛАЗЕРНАЯ СВАРКА

   ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ СВАРКА

   ТЕМПЕРАТУРНЫЙ РЕЖИМ

   ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

   ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЕ

   КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МЕТОД


Свободных экз. нет