Киреев, Валерий Юрьевич (1949— ).     Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур [Text] / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов. - Москва : Радио и связь, 1983. - 124, [2] с. : ил., табл., схемы. - (Массовая библиотека инженера ; вып. 36. Электроника). - ^aБиблиография: с. 121—125 (92 назв.). - Б. ц. ГРНТИ ^a47.33.31 УДК ^a621.3.049.77.002:621.794.4^v3^zrus Рубрики: ТРАВЛЕНИЕ    ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ    ПЛАЗМОХИМИЯ    ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ    МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.) Доп.точки доступа: Данилин, Борис Степанович; Кузнецов, Владимир Иванович (микроэлектроника) Свободных экз. нет

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии [Text] : учебник для вузов / В. И. Иванов [и др.] ; под редакцией А. С. Сигова. - Москва : Юрайт, 2020. - 270 с. : ил., табл. - (Высшее образование). - ^aБиблиография: с. 236—238 (20 назв.). - ISBN 978-5-9916-7153-8 (в переплете) : Б. ц. ГРНТИ ^a47.33.31^v6 ^a47.14.17^v6 ^a47.01.33^v6 ^a55.22^v6 ^a55.01.33^v6 УДК ^a621.396.6-027.31(075)^v4^zrus ^a621.3.049.77(075)^v4^zrus ^a621.793.18(075)^v4^zrus Рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОННАЯ АППАРАТУРА    КОНСТРУИРОВАНИЕ    ЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ    МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ    ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ    ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ    НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ    ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    ИОННАЯ ЭМИССИЯ    ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ    ОСАЖДЕНИЕ    ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ    ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ    ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ    ДИФФУЗИОННАЯ СВАРКА Доп.точки доступа: Иванов, Владимир Иванович (доктор технических наук); Лучников, Петр Александрович; Сигов, Александр Сергеевич (доктор физико-математических наук ; род. 1945); Суржиков, Анатолий Петрович Свободных экз. нет