^a61.13.21^2rubbk

    Strempel, Verena A. E..

    Atomic layer deposition on particulate systems and its application to heterogeneous catalysis [Text] : von der Fakultat II - Mathematik und Naturwissenschaften der Technischen Universitat Berlin zur Erlangung des akademischen Grades Doktor der Ingenieurwissenschaften - Dr. - Ing. - genehmigte Dissertation / Verena A. E. Strempel. - Berlin : [s. n.], 2019. - 120 p. : fig. ; 30 см. - ^aБиблиогр. в конце гл. - Б. ц.

ГРНТИ
УДК
РУБ
Рубрики: ОСАЖДЕНИЕ АТОМНЫХ СЛОЕВ
   МНОГОЧАСТИЧНЫЕ СИСТЕМЫ

   ХИМИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ЯВЛЕНИЙ

   ВАНАДИЙ

   ФОСФАТЫ

   ГЕТЕРОГЕННЫЙ КАТАЛИЗ

   ГЕТЕРОГЕННЫЕ КАТАЛИЗАТОРЫ

   КАТАЛИЗАТОРЫ ОКИСЛЕНИЯ

   КАТАЛИТИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

   КАТАЛИТИЧЕСКИЕ РЕАКТОРЫ


Свободных экз. нет



   

    Травление и осаждение слоев с помощью химически активных частиц, создаваемых в плазме, отделенной от зоны обработки [Text] : обзор / В. И. Кузнецов. - М. : [s. n.], 1992. - 104 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ОСАЖДЕНИЕ АТОМНЫХ СЛОЕВ

   ТРАВЛЕНИЕ



Доп.точки доступа:
Кузнецов, Владимир Иванович (микроэлектроника)
Свободных экз. нет



    Васильев, Владислав Юрьевич (доктор химических наук).

    Аппаратура и методика осаждения слоев при пониженном давлении [Text] : обзор / В. Ю. Васильев, М. С. Сухов. - М. : [s. n.], 1985. - 52 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ОСАЖДЕНИЕ АТОМНЫХ СЛОЕВ

Кл.слова (ненормированные):
0 ; СЛОИ


Доп.точки доступа:
Сухов, М. С.
Свободных экз. нет



    Васильев, Владимир Юрьевич.

    Аппаратура и методика осаждения слоев при пониженном давлении (по данным отечественной и зарубежной печати за 1973-1984 гг.) [Text] : обзор / В. Ю. Васильев, М. С. Сухов. - М. : ЦНИИ "Электроника", 1985. - 46 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
   ТОНКИЕ ПОКРЫТИЯ

   ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ОСАЖДЕНИЕ АТОМНЫХ СЛОЕВ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

   НИЗКИЕ ДАВЛЕНИЯ



Доп.точки доступа:
Сухов, М. С.
Свободных экз. нет



    Вендик, Орест Генрихович (доктор технических наук ; 1932—2022).

    Технология вакуумно-дугового осаждения тонких пленок [Text] / О. Г. Вендик, В. Ф. Попов, Н. В. Зеленская. - Л. : [s. n.], 1982. - 17 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
   ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ВАКУУМНО-ДУГОВОЕ НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ОСАЖДЕНИЕ АТОМНЫХ СЛОЕВ

   ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ



Доп.точки доступа:
Попов, В. Ф.; Зеленская, Н. В.
Свободных экз. нет



   

    Современные методы генерации потока осаждаемого вещества при нанесении тонкопленочных покрытий в вакууме [Text] : обзор / Г. Д. Карпенко, В. Л. Рубинштейн. - Минск : [s. n.], 1990. - 37 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ
   ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ОСАЖДЕНИЕ АТОМНЫХ СЛОЕВ



Доп.точки доступа:
Карпенко, Геннадий Дмитриевич (доктор технических наук ; 1949—1999); Рубинштейн, В. Л.
Свободных экз. нет



   

    Плазмохимическое осаждение тонких слоев в реакторах пониженного давления [Text] : обзор / С. П. Шепелев [и др.]. - М. : [s. n.], 1986. - 54 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: РЕАКТОРНЫЕ УСТАНОВКИ
   ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

   ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ

   ОСАЖДЕНИЕ АТОМНЫХ СЛОЕВ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ



Доп.точки доступа:
Шепелев, С. П.
Свободных экз. нет



   

    Плазмохимическое осаждение тонких слоев в реакторах пониженного давления [Text] : обзор / С. П. Шепелев [и др.]. - М. : [s. n.], 1988. - 60 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: РЕАКТОРНЫЕ УСТАНОВКИ
   ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

   ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ

   ОСАЖДЕНИЕ АТОМНЫХ СЛОЕВ

   СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ



Доп.точки доступа:
Шепелев, С. П.
Свободных экз. нет



    "Теоретические основы технологии нанесения химических покрытий из металлов и сплавов" (1988 ; Киев).

    Украинская республиканская конференция "Теоретические основы технологии нанесения химических покрытий из металлов и сплавов", Киев, 24-26 мая 1988 г. [Text] / "Теоретические основы технологии нанесения химических покрытий из металлов и сплавов" (1988 ; Киев) . - Киев : [s. n.], 1988. - 43 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ
   МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ

   ХИМИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ

   СТРУКТУРА МАТЕРИАЛОВ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ОСАЖДЕНИЕ АТОМНЫХ СЛОЕВ

   КИНЕТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

   ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА


Свободных экз. нет



    "Теоретические основы технологии нанесения химических покрытий из металлов и сплавов" (1988 ; Киев).

    Украинская республиканская конференция "Теоретические основы технологии нанесения химических покрытий из металлов и сплавов", Киев, 24-26 мая 1988 г. [Text] / "Теоретические основы технологии нанесения химических покрытий из металлов и сплавов" (1988 ; Киев) . - Киев : [s. n.], 1988. - 39 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ
   МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ

   ХИМИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ

   СТРУКТУРА МАТЕРИАЛОВ

   СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ОСАЖДЕНИЕ АТОМНЫХ СЛОЕВ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

   КОНТРОЛЯ МЕТОДЫ


Свободных экз. нет



   

    Лазерное напыление материалов, применяемых в электронной технике [Text] : обзор / Ю. Д. Самаркин [и др.]. - М. : [s. n.], 1990. - 53 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
   ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ

   ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ФАКЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ

   НАПЫЛЕНИЕ

   ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА

   ОСАЖДЕНИЕ АТОМНЫХ СЛОЕВ

   СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ



Доп.точки доступа:
Самаркин, Ю. Д.
Свободных экз. нет



    Шабельский, Владимир Андреевич.

    Окрашивание методом электроосаждения: Технология и оборудование процесса [Text] / В. А. Шабельский, В. А. Мышленникова. - Л. : Химия, Ленингр. отд-ние, 1983. - 142 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ
   ОКРАСКА (процесс)

   ОСАЖДЕНИЕ АТОМНЫХ СЛОЕВ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

   ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ



Доп.точки доступа:
Мышленникова, В. А.
Свободных экз. нет