Смирнов, А. Б. Мехатроника и робототехника [Text] : системы микроперемещений с пьезоэлектрическими приводами: Учеб. пособие / А. Б. Смирнов. - СПб. : [s. n.], 2003. - 160 с. : ил. - ^aБиблиогр.: с. 156-160 (65 назв.). - ISBN 5-7422-0345-4 : Б. ц. В надзаг.:С.-Петерб. гос. политехн. ун-т.
Свободных экз. нет |
Варадан, В. ВЧ МЭМС и их применение [Text] : монография / Пер. с англ. Ю.А. Заболотной. - М. : Техносфера, 2004. - 525 с. : ил. - (Мир электроники). - ^aБиблиогр.: с. 520-523. Предм. указ.: с. 524-525. - ISBN 5-94836-030-X : Б. ц.
См. : МБА/ЭДД, См. : МБА/ЭДД Доп.точки доступа: Виной, К.; Джозе, К. Свободных экз. нет |
Electroceramic-based MEMS [Text] : fabrication-technology and applications / ed. N. Setter. - New-York (NY) : [s. n.], 2005. - XII, 414 p. : ill. - (Electronic materials: science and technology / Ser. ed.: H. L. Tuller). - ^aБиблиогр. в конце глав. Указ.: с. 411-414. - ISBN 0-387-23310-5 : р3679.70 р.
Доп.точки доступа: Setter, N. \.\ Свободных экз. нет |
Нанотехнологическая база микросистемной техники [Text] : монография / В. М. Башков [и др.]; под ред. О. С. Нарайкина, В. Д. Шашурина. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2007. - 51 с. - (Приоритетные национальные проекты "Образование"). - ISBN 978-5-7038-3089-5 : Б. ц.
Доп.точки доступа: Башков, В.М.; Беляева, А.О.; Быков, Ю.А.; Галиновский, А.Л.; Данилов, И.И. Свободных экз. нет |
Lobontiu, N. Microsystems [Text] : монография / eds.: S. D. Senturia [et al.]. - New York, NY [ etc.] : Springer, 2007. - X, 402 p. : ill. - ^aБиблиогр. в конце частей. Указ.: с. 395-402. - ISBN 978-0-387-36800-9 : р4039.27 р.
Свободных экз. нет |
Wong, B. T. Thermal transport for applications in micro/nanomachining [Text] : монография / B. T. Wong, M. P. Menguc. - Berlin [etc.] : Springer, 2008. - XVII, 231 p. : ill. - (Microtechnology and MEMS, ISSN 1439-6599). - ^aБиблиогр.: с. 221-228. Указ.: с. 229-231. - ISBN 978-3-540-73605-9 : р4528.03 р.
Доп.точки доступа: Menguc, M.P. Свободных экз. нет |
Jha, A. R. MEMS and nanotechnology-based sensors and devices for communications, medical and aerospace applications [Text] : монография / A. R. Jha. - Boca Raton, Fl : CRC Press, 2008. - XXIX,401 p. : ill. - ^aБиблиогр. в конце ст. Указ.: с.385-401. - ISBN 978-0-8493-8069-3 : р4314.75 р.
Аппаратура связи Медицинские приборы, аппараты и инструменты Космические летательные аппараты Свободных экз. нет |
Микроэлектромеханические системы [Text] : учеб. пособие / С. П. Тимошенков [и др.]. - М. : МИЭТ, 2009. - 52 с. : ил. - ^aБиблиогр.: с. 51 (20 назв.). - ISBN 978-5-7256-0543-3 : Б. ц. ; В надзаг.: Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т).
Доп.точки доступа: Тимошенков, С.П.; Калугин, В.В.; Анчутин, С.А.; Морозова, Е.С. Свободных экз. нет |
THERMINIC workshop (3rd ; 1997). Contributions from the 3rd THERMINIC workshop,Fall 1997,Cannes [Text] : материалы временных коллективов / Ed.:D.L.Blackburn,B.Courtois. - New York : [s. n.], 1998. - 399-523 p. : ill. - (IEEE transactions on components,packaging, and manufacturing technology.Pt.A / Institute of electrical and electronics engineers(New York), ISSN 1070-9886 ; 1998,Vol.21,N 3). - ^aБиблиогр.в конце статей. - Б. ц.
Микроэлектромеханические системы Доп.точки доступа: Blackburn, D.L.; Courtois, B. Свободных экз. нет |
Васильев, В. А. Нано- и микроэлектромеханические системы [Text] : учеб. пособие / В. А. Васильев, Н. В. Громков, Т. Н. Рыжова. - Пенза : ПГУ, 2009. - 78 с. : ил. - ^aБиблиогр.: с. 71-78. - Б. ц.
Микроэлектромеханические системы Доп.точки доступа: Громков, Н.В.; Рыжова, Т.Н. Свободных экз. нет |
Bahreyni, B. Micro & nano technologies: MNT [Text] : монография / ed. J. Ramsden. - Norwich, NY : William Andrew Inc., 2008. - XIII, 181 p. : ill. - ^aБиблиогр. в конце глав. Указ.: с. 179-181. - ISBN 978-0-8155-1577-7 : Б. ц.
Резонанс Свободных экз. нет |
MEMS-based integrated navigation [Text] : монография / P. Aggarwal [et al.]. - Norwood, Ma : Artech house , 2010. - XIII, 197 p. : ill. - (
Инерциальная навигация Доп.точки доступа: Aggarwal, P.; Syed, Z.; Noureldin, A.; El-Sheimy, N. Свободных экз. нет |
Ковальчук, Наталья Станиславовна. Многослойные структуры на основе нитрида кремния для мембранных микроэлектромеханических систем и полупроводниковых приборов [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Ковальчук Наталья Станиславовна ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2012. - 23 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 17—20 (26 назв.). - Б. ц.
МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ АВТОРЕФЕРАТЫ Свободных экз. нет |
^2rugasnti^a47.41 Advanced RF MEMS [Text] / ed. by S. Lucyszyn. - Cambridge : Cambridge univ. press, 2010. - XXVIII,412 p. : ill. ; 25 cm. - (The Cambridge RF and microwave engineering series). - ^aBibliogr. at the end of the chapters. - ISBN 978-0-521-89771-6 : Б. ц. Перевод заглавия: 1 ^aДостижения в области радиочастотных микроэлектромеханических систем Перевод заглавия: 1 ^aДостижения в области радиочастотных микроэлектромеханических систем
Рубрики: микроэлектромеханические системы Доп.точки доступа: Lucyszyn, Stepan \.\ Свободных экз. нет |
Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники [Text] / [А. П. Достанко и др.] ; под редакцией А. П. Достанко. - Минск : Беларуская навука, 2016. - 250, [1] с. : ил., схемы, табл. - ^aБиблиография в конце глав. - ISBN 978-985-08-1993-2 (в переплете) : Б. ц. ; Авторы указаны на обороте титульного листа
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА ИНТЕГРИРОВАННЫЕ СИСТЕМЫ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ НАНОСТРУКТУРЫ РАДИОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ КОМПЛЕКСЫ ЭЛЕКТРОНИКА НАНОТЕХНОЛОГИИ ИЗДЕЛИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ Доп.точки доступа: Достанко, Анатолий Павлович (доктор технических наук ; род. 1937); Аваков, Сергей Мирзоевич (доктор технических наук, электроника ; род. 1955); Агеев, Олег Алексеевич (доктор технических наук ; род. 1966); Батура, Михаил Павлович (доктор технических наук ; род. 1950); Бордусов, Сергей Валентинович (доктор технических наук ; род. 1955); Голосов, Дмитрий Анатольевич (кандидат технических наук ; род. 1971); Джуплин, Владимир Николаевич (кандидат технических наук); Клим, Ольга Владимировна (электроника ; род. 1984); Мельников, Сергей Николаевич (радиоэлектроника); Ретюхин, Георгий Евгеньевич (обработка материалов); Титко, Дмитрий Сергеевич (электронная техника); Чередниченко, Дмитрий Иванович (кандидат технических наук ; род. 1937); Петухов, Игорь Борисович (кандидат технических наук); Завадский, Сергей Михайлович (кандидат технических наук); Ланин, Владимир Леонидович (доктор технических наук ; род. 1948); Томаль, Владимир Степанович (кандидат технических наук); Мадвейко, Сергей Игоревич (кандидат технических наук ; род. 1984); Школык, Святослав Борисович (микроэлектроника); Русецкий, Анатолий Максимович (доктор технических наук ; род. 1951); Трапашко, Георгий Алексеевич (кандидат технических наук) Свободных экз. нет |
Гуртов, В. А. Микроэлектромеханические системы [Text] : учебное пособие для студентов физико-технических специальностей университетов / В. А. Гуртов, М. А. Беляев, А. Г. Бакшеева ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Петрозаводский государственный университет. - Петрозаводск : Изд-во ПетрГУ, 2016. - 141с. : ил. - ^aБиблиогр.: с. 135-140 (97 назв.). - Предм. указ.: с. 141. - ISBN 978-5-8021-2925-8 : р200 р.
Доп.точки доступа: Беляев, М.А.; Бакшеева, А.Г.; Петрозаводский государственный университет Свободных экз. нет |
Кашкаров, Андрей Петрович (писатель ; род. 1972). Микроэлектромеханические системы и элементы [Text] / А. П. Кашкаров. - Москва : ДМК Пресс, 2018. - 113 с. : ил., табл., схемы. - ^aБиблиография: с. 112—113 (25 назв.). - ISBN 978-5-97060-596-7 : Б. ц.
МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ ГИРОСКОПЫ АКСЕЛЕРОМЕТРЫ МАГНИТОРЕЗИСТОРЫ ТЕНЗОРЕЗИСТОРЫ МАГНИТОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА СЧИТЫВАНИЯ УСТРОЙСТВА Свободных экз. нет |
Поленов, Юрий Владимирович (доктор химических наук). Физико-химические основы нанотехнологий [Text] : учебник / Ю. В. Поленов, Е. В. Егорова. - Санкт-Петербург [и др.] : Лань, 2019. - 179 с. : ил., табл. - (Учебники для вузов. Специальная литература) (Бакалавриат). - ^aБиблиография: с. 174—176 (41 назв.). - ISBN 978-5-8114-4113-6 (в переплете) : Б. ц.
НАНОСИСТЕМЫ НАНОЧАСТИЦЫ ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПРОСТРАНСТВЕННАЯ СТРУКТУРА МАГНИТНЫЕ СВОЙСТВА ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА КАТАЛИТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТЕРМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОКЛАСТЕРЫ ФУЛЛЕРЕНЫ НАНОТРУБКИ НАНОПЛЕНКИ ИССЛЕДОВАНИЙ МЕТОДЫ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ Доп.точки доступа: Егорова, Елена Владимировна (кандидат химических наук) Свободных экз. нет |
Технологические процессы осаждения и травления в технологии изготовления ИМС и МЭМС [Text] : учебно-методическое пособие для специальностей 1-41 01 02 "Микро- и нанотехнологии и системы", 1-41 01 03 "Квантовые информационные системы", 1-41 01 04 "Нанотехнологии и наноматериалы в электронике" / [Д. А. Котов и др.] ; Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Факультет радиотехники и электроники, Кафедра микро- и наноэлектроники. - Минск : БГУИР, 2020. - 67, [1] с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 66—68 (37 назв.). - ISBN 978-985-543-477-2 : Б. ц.
МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ ОСАЖДЕНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ Доп.точки доступа: Котов, Дмитрий Анатольевич (кандидат технических наук); Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника); Ясюнас, Александр Алексеевич (наноэлектроника ; род. 1985); Ковальчук, Наталья Станиславовна (кандидат технических наук) Свободных экз. нет |
Разработка и моделирование МЭМС-устройств [Text] : учебное пособие / А. С. Шалимов, Е. С. Кочурина, В. В. Калугин, С. П. Тимошенков ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МИЭТ". - Москва : МИЭТ, 2019. - 144с. : ил. - ^aБиблиогр.: с. 142 (7 назв.). - ISBN 978-5-7256-0919-6 : р200 р.
Доп.точки доступа: Шалимов, А.С.; Кочурина, Е.С.; Калугин, В.В.; Тимошенков, С.П.; "МИЭТ", национальный исследовательский университет ((Москва)) Свободных экз. нет |