Прокопьев, Е. П.

    Особенности технологии изготовления КНИ структур прямым сращиванием пластин кремния и контроля их качества [Text] : препринт / Е. П. Прокопьев, С. П. Тимошенков, А. Л. Суворов. - М., 2000. - 20 с. : ил. - (Препринт ; 24-00). - Б. ц.
Перевод заглавия: ^aPeculiarities of technology of manufacture of SOI structures by direct splicing of silicon plates and their quality monitoring
    Содержание:


   Перевод заглавия: ^aPeculiarities of technology of manufacture of SOI structures by direct splicing of silicon plates and their quality monitoring
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Кремниевые структуры


Доп.точки доступа:
Тимошенков, С.П.; Суворов, А.Л.
Свободных экз. нет



    Суворов, А. Л.

    Анализ преимуществ, перспектив применения и технологий производства структур КНИ [Text] : препринт / А. Л. Суворов, Ю. А. Чаплыгин, С. П. Тимошенков. - М., 2000. - 35 с. : ил. - (Препринт ; 27-00(2000)). - Б. ц.
Перевод заглавия: ^aAnalysis of advantages, application prospects and manufacturing technologies of silicon-on-insulator structures
    Содержание:


   Перевод заглавия: ^aAnalysis of advantages, application prospects and manufacturing technologies of silicon-on-insulator structures
ГРНТИ
УДК
Рубрики: Кремниевые структуры


Доп.точки доступа:
Чаплыгин, Ю.А.; Тимошенков, С.П.
Свободных экз. нет



    Богданович, Б. Ю.

    Технологии и методы исследования структур КНИ [Text] : монография / Богданович Б.Ю., Графутин В.И., Калугин В.В. и др. - М. : [s. n.], 2003. - 288 с. : ил. - ^aБиблиогр. в конце глав. - ISBN 5-7256-0320-2 : Б. ц.
В надзаг.:Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т), Моск. инж.-физ. ин-т (гос. ун-т), ФГУП ГНЦ РФ ин-т теорет. и эксперим. физики.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: Кремниевые структуры


Доп.точки доступа:
Графутин, В.И.; Калугин, В.В.
Свободных экз. нет



    Богданович, Б. Ю.

    Технологии и методы исследования структур КНИ [Text] : монография / Богданович Б.Ю., Графутин В.И., Калугин В.В. и др. - М. : [s. n.], 2003. - 288 с. : ил. - ^aБиблиогр. в конце глав. - ISBN 5-7256-0320-2 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: Кремниевые структуры


Доп.точки доступа:
Графутин, В.И.; Калугин, В.В.
Свободных экз. нет



    Козлов, Ю. Ф.

    Структуры кремния на сапфире: технология, свойства, методы контроля, применение [Text] : учеб. пособие / Ю. Ф. Козлов, В. В. Зотов. - М. : МИЭТ, 2004. - 139 с. : ил. - ^aБиблиогр.: с. 133-136(45 назв.). - ISBN 5-7256-0378-4 : Б. ц.
В надзаг.: Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т).

ГРНТИ
УДК
Рубрики: Кремниевые структуры

См. : МБА/ЭДД

Доп.точки доступа:
Зотов, В.В.
Свободных экз. нет



    Зиновьев, Д. В.

    Кремниевые структуры для приборов микроэлектроники [Text] : учеб. пособие по курсу "Технология микроэлектроники" / Д. В. Зиновьев, В. М. Андреев, К. А. Тузовский. - М. : МИЭТ, 2006. - 64 с. : ил. - ^aБиблиогр.: с. 63 (8 назв.). - ISBN 5-7256-0422-5 : Б. ц.
; В надзаг.: Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)

ГРНТИ
УДК
Рубрики: Кремниевые структуры


Доп.точки доступа:
Андреев, В.М.; Тузовский, К.А.
Свободных экз. нет



    Fruhauf, J.

    Shape and functional elements of the bulk silicon microtechnique [Text] : a man. of wet-etched silicon structures / J. Fruhauf. - Berlin [etc.] : Springer, 2005. - XII, 221 p. : ill. - ^aБиблиогр. в конце глав. Указ.: с. 217-221. - ISBN 3-540-22109-3 : р3508.67 р.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: Кремниевые структуры

Свободных экз. нет



   

    Springer series in materials science [Text] : сборник / ed. R. Hull [et al.]. - Berlin [etc.] : Springer, 2009. - XXVIII, 343 p. : ill. - ^aБиблиогр. в конце глав. Указ.: с. 335-343. - ISSN 0933-033X. - ISBN 978-3-540-74558-7 : р4927.53 р.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: Кремниевые структуры


Доп.точки доступа:
Huff, H.R. \.\
Свободных экз. нет



    Thoissen, M. O.-W.

    Spektroskopische Charakterisierung von Schichten und Schichtsystemen aus poroem Silicium im Hinblick auf optische und optoelektonische Anwendungen [Text] : diss. / M. O.-W. Thoissen. - Aachen : [s. n.], 1998. - VIII,160,XXIII S. : ill. - ^aБиблиогр.: с.XIII-XXII. - Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: Кремниевые пленки
   Кремниевые структуры


Свободных экз. нет



    NATO advanced research workshop on perspectives, science and technologies for novel silicon on insulator devices (1998).

    Perspectives, science and technologies for novel silicon on insulator devices [Text] : proc.of the NATO advanced research workshop on perspectives, science and technologies for novel silicon on insulator devices, Kyiv, 12-15 Oct.1998 / Ed.:P.L.Hemment et al. - Dordrecht etc. : Kluwer, 1999. - XXI, 344 p. : ill. - (NATO ASI(Advanced science institutes)series. Partnership sub-series 3, High technology ; vol.73). - ^aБиблиогр.в конце ст. Указ.:с.329-344. - ISBN 0-7923-6116-4 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: Кремниевые структуры
   Полупроводниковые приборы



Доп.точки доступа:
Hemment, P.L.
Свободных экз. нет



    Коробко, Александра Олеговна.

    Формирование функциональных слоев соединений кремния с никелем, кобальтом, железом и палладием ионной имплантацией и ионно-плазменным нанесением [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Коробко Александра Олеговна ; Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники. - Минск : [s. n.], 2009. - 23 с. - ^aБиблиогр.: с. 17-20. - Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: АВТОРЕФЕРАТЫ
   ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ

   ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА

   ЭЛЕКТРОННЫЙ ПАРАМАГНИТНЫЙ РЕЗОНАНС

   ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   НИКЕЛЬ

   ИОНЫ МЕТАЛЛОВ

   КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ

   ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ


Свободных экз. нет



    Строгова, Александра Сергеевна (нанотехнологии).

    Получение и свойства порошков нанодисперсного кремния [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Строгова Александра Сергеевна ; УО "Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2011. - 23 с. : ил. - ^aБиблиография: с. 17—20 (28 назв.). - Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
   МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ

   ИЗМЕЛЬЧЕНИЕ

   ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА

   МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА

   ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ОБРАБОТКА

   ОКИСЛЕНИЕ

   АВТОРЕФЕРАТЫ

Кл.слова (ненормированные):
0 ; Кремниевые наноматериалы -- 0 ; Высокотемпературный синтез

Свободных экз. нет



    Pavesi, L.

    Porous silicon dielectric multilayers and microcavities [Text] : сборник научных трудов / L. Pavesi. - Bologna : [s. n.], 1997. - 76 p. : ill. - (La rivista del nuovo cimento. Ser.3-4, ISSN 0393-697X ; vol.20,N 10). - ^aБиблиогр.:с.72-76. - Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: <Кремниевые> <структуры>
   <Оптоэлектронные> <приборы>


Свободных экз. нет



    Бондаренко, Анна Витальевна (кандидат технических наук).

    Наноструктурированные пленки меди, формируемые методом химического осаждения на пористый кремний [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Бондаренко Анна Витальевна ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2014. - 23 с. : ил. - ^aБиблиография: с. 16—20 (39 назв.). - Б. ц.
; Резюме на белорусском, русском, английском языках

ГРНТИ
УДК
Рубрики: КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
   КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ

   КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ

   ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ

   ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА

   НАНОПЛЕНКИ

   МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ

   МЕДЬ

   ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ РАСТВОРОВ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ

   СТРУКТУРА МАТЕРИАЛОВ

   СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ

   ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

   АВТОРЕФЕРАТЫ


Свободных экз. нет



    Зебрев, Геннадий Иванович (доктор технических наук).

    Физические основы кремниевой наноэлектроники [Text] : учебное пособие / Г. И. Зебрев. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2017. - 240 с. : ил., табл., схемы. - (Нанотехнологии). - ^aБиблиография: с. 225—232. - ISBN 978-5-9963-0181-2 (в переплете) : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: НАНОЭЛЕКТРОНИКА
   КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ

   КРЕМНИЕВЫЕ ЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ

   КРЕМНИЙ-НА-ИЗОЛЯТОРЕ

   МОП-СТРУКТУРЫ

   КМОП (технология)

   ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ

   НАНОТЕХНОЛОГИИ

   НАНОМАТЕРИАЛЫ


Свободных экз. нет



    Бондаренко, Анна Витальевна (кандидат технических наук).

    Наноструктурированные пленки меди на пористом кремнии: формирование, свойства, применение [Text] : [монография] / А. В. Бондаренко. - Минск : Бестпринт, 2019. - 133 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 126—133 (103 назв.). - ISBN 978-985-6963-99-8 (в переплете) : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
   КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ

   КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ

   ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ

   ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА

   НАНОПЛЕНКИ

   МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ

   МЕДЬ

   ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ РАСТВОРОВ

   СТРУКТУРА МАТЕРИАЛОВ

   СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ

   ФИЗИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА


Свободных экз. нет



    Ясюнас, Александр Алексеевич (наноэлектроника ; род. 1985).

    Технология и особенности построения оборудования для формирования наноструктурированных гидрофобных и износостойких оптических покрытий для видимого спектрального диапазона [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Ясюнас Александр Алексеевич ; Учреждения образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2020. - 23 с. : ил. - ^aБиблиография: с. 17—20 (25 назв.). - Б. ц.
; Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ОПТИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ
   ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ

   ГИДРОФОБНЫЕ ПОКРЫТИЯ

   НАНОПОКРЫТИЯ

   НАНОПЛЕНКИ

   ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ

   НАНОРЕАКТОРЫ

   КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ

   ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА


Свободных экз. нет



    Горлов, Митрофан Иванович.

    Современное состояние проблемы надежности кремниевых биполярных интегральных схем [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1972-1983 гг. / М. И. Горлов. - М. : [s. n.], 1984. - 61 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ

   КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ

   НАДЕЖНОСТЬ (техн.)


Свободных экз. нет



    Гликин, Л. С.

    Новые применения лучистой энергии в микроэлектронике [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1978-1984 гг. / Л. С. Гликин, В. В. Зотов, Е. А. Королева. - М. : [s. n.], 1984. - 41 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: ЛУЧИСТАЯ ЭНЕРГИЯ
   КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ

   ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СТРУКТУРЫ

   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА

   ПОЛУПРОВОДНИКИ



Доп.точки доступа:
Зотов, Владислав Владимирович; Королева, Е. А. (микроэлектроника)
Свободных экз. нет



   

    Кремниевые структуры с диэлектрической изоляцией для изделий микроэлектроники [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1975-1985 гг. / Н. А. Брюхно [и др.]. - М. : [s. n.], 1987. - 40 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ИЗОЛЯЦИЯ

   КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ

   ДИЭЛЕКТРИКИ



Доп.точки доступа:
Брюхно, Николай Алексеевич
Свободных экз. нет