Коробко, Александра Олеговна.

    Формирование функциональных слоев соединений кремния с никелем, кобальтом, железом и палладием ионной имплантацией и ионно-плазменным нанесением [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Коробко Александра Олеговна ; Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники. - Минск : [s. n.], 2009. - 23 с. - ^aБиблиогр.: с. 17-20. - Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: АВТОРЕФЕРАТЫ
   ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ

   ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА

   ЭЛЕКТРОННЫЙ ПАРАМАГНИТНЫЙ РЕЗОНАНС

   ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   НИКЕЛЬ

   ИОНЫ МЕТАЛЛОВ

   КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ

   ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ


Свободных экз. нет



    Григорьев, Сергей Николаевич (1960- ).

    Ионная обработка [Text] / С. Н. Григорьев, М. А. Волосова. - Москва : ИТО, 2010. - 156 с. : ил. - (Библиотека технолога : в 6 кн. ; кн. 2. Современные технологические процессы и оборудование). - Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
   ЛЕГИРОВАНИЕ

   ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

   МЕТАЛЛООБРАБОТКА



Доп.точки доступа:
Волосова, Марина Александровна
Свободных экз. нет



    Чубаров, Евгений Петрович.

    Контроль и регулирование с подвижным локальным воздействием [Text] / Е. П. Чубаров ; под редакцией Г. П. Катыса. - Москва : Энергия, 1977. - 208, [1] с., включая обложку : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 200—208 (163 назв.). - Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: КОНТРОЛЯ СИСТЕМЫ
   РЕГУЛИРОВАНИЕ

   ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА

   ЛАЗЕРНАЯ ТЕХНИКА



Доп.точки доступа:
Катыс, Георгий Петрович \.\
Свободных экз. нет



    Киреев, Валерий Юрьевич (1949— ).

    Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур [Text] / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов. - Москва : Радио и связь, 1983. - 124, [2] с. : ил., табл., схемы. - (Массовая библиотека инженера ; вып. 36. Электроника). - ^aБиблиография: с. 121—125 (92 назв.). - Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ТРАВЛЕНИЕ
   ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ

   ПЛАЗМОХИМИЯ

   ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ

   МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)



Доп.точки доступа:
Данилин, Борис Степанович; Кузнецов, Владимир Иванович (микроэлектроника)
Свободных экз. нет



    Капустин, Владимир Иванович (доктор физико-математических наук ; род. 1948).

    Технология производства и контроль качества наноматериалов и наноструктур [Text] : учебное пособие / В. И. Капустин, А. С. Сигов ; Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "МИРЭА — Российский технологический университет". - Москва : Инфра-М, 2019. - 243 с. : ил., табл. - (Высшее образование — Бакалавриат) (Бакалавриат). - ^aБиблиография: с. 238—240 (47 назв.). - ISBN 978-5-16-013806-0 (в переплете) : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: НАНОМАТЕРИАЛЫ
   НАНОСТРУКТУРНОЕ МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ

   КОНТРОЛЬ КАЧЕСТВА

   УЛЬТРАДИСПЕРСНЫЕ ПОРОШКИ

   ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СТРУКТУРЫ

   КРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ СТРУКТУРЫ

   ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ

   ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ



Доп.точки доступа:
Сигов, Александр Сергеевич (доктор физико-математических наук ; род. 1945)
Свободных экз. нет



   

    Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии [Text] : учебник для вузов / В. И. Иванов [и др.] ; под редакцией А. С. Сигова. - Москва : Юрайт, 2020. - 270 с. : ил., табл. - (Высшее образование). - ^aБиблиография: с. 236—238 (20 назв.). - ISBN 978-5-9916-7153-8 (в переплете) : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОННАЯ АППАРАТУРА
   КОНСТРУИРОВАНИЕ

   ЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ

   МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ

   ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ

   ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ИОННАЯ ЭМИССИЯ

   ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

   ОСАЖДЕНИЕ

   ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ

   ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ

   ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ

   ДИФФУЗИОННАЯ СВАРКА



Доп.точки доступа:
Иванов, Владимир Иванович (доктор технических наук); Лучников, Петр Александрович; Сигов, Александр Сергеевич (доктор физико-математических наук ; род. 1945); Суржиков, Анатолий Петрович
Свободных экз. нет

^a29.19^2rugasnti

    Івасишин, Орест Михайлович.

    Nanostructured layers and coating formed by ion-plasma fluxes in titanium alloys and steels [Text] / O. M. Ivasishin, A. D. Pogrebnjak, S. N. Bratushka ; National Academy of Sciences of Ukraine, G. V. Kurdyumov Institute for Metal Physics, Sumy State University. - Kyiv : Akademperiodyka, 2011. - 286 p. : fig., tab. ; 24 см. - (Project "Ukrainian scientific book in a foreign language"). - ^aBibliogr.: p. 259-283. - ISBN 978-966-360-181-6 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
РУБ
Рубрики: МЕТАЛЛОФИЗИКА
   НАНОСЛОИ

   НАНОПОКРЫТИЯ

   ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ИОННЫЕ ПУЧКИ

   ПЛАЗМЕННЫЕ СТРУИ

   ТИТАНОВЫЕ СПЛАВЫ

   СТАЛИ

   ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ

   ВАКУУМНО-ДУГОВОЕ НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   АБЛЯЦИЯ

   НОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ



Доп.точки доступа:
Погребняк, Александр Дмитриевич (доктор физико-математических наук ; род. 1947); Братушка, Сергій Миколайович
Свободных экз. нет