Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники [Text] / [А. П. Достанко и др.] ; под общей редакцией А. П. Достанко. - Минск : Беларуская навука, 2020. - 259, [1] с. : ил., цв. ил., табл. - ^aБиблиография в конце глав и в подстрочных примечаниях. - ISBN 978-985-08-2521-6 (в переплете) : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА

   МНОГОКРИСТАЛЬНЫЕ МОДУЛИ

   СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ

   ИННОВАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА

   ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ

   ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

   ЛИТОГРАФИЯ (электроника)



Доп.точки доступа:
Достанко, Анатолий Павлович (доктор технических наук ; род. 1937); Аваков, Сергей Мирзоевич (доктор технических наук, электроника ; род. 1955); Голосов, Дмитрий Анатольевич (кандидат технических наук ; род. 1971); Емельянов, Виктор Владимирович; Завадский, Сергей Михайлович (кандидат технических наук); Колос, Владимир Владимирович (кандидат физико-математических наук); Ланин, Владимир Леонидович (доктор технических наук, электроника ; род. 1948); Мадвейко, Сергей Игоревич (кандидат технических наук ; род. 1984); Мельников, Сергей Николаевич (кандидат технических наук); Никитюк, Юрий Валерьевич (кандидат физико-математических наук); Петлицкий, Александр Николаевич (кандидат физико-математических наук); Петухов, Игорь Борисович (кандидат технических наук); Пилипенко, Владимир Александрович (доктор технических наук ; род. 1949); Плебанович, Владимир Иванович; Солодуха, Виталий Александрович (кандидат технических наук, электроника); Соколов, Сергей Иванович (физик); Телеш, Евгений Владимирович; Шершнев, Евгений Борисович (кандидат технических наук, физик ; род. 1960)
Свободных экз. нет



    Аль-Камали, Марван Фархан Саиф Хассан (наноэлектроника).

    Формирование золь-гель методом высококремнеземистых мишеней с наночастицами меди и ее оксида для создания наноструктурированных пленок [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Аль-Камали Марван Фархан Саиф Хассан ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2022. - 25 с. : цв. ил. табл. - ^aБиблиография: с. 17—22 (29 назв.). - Б. ц.
; Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

   ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ

   ВЫСОКОКРЕМНЕЗЕМИСТЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   НАНОЧАСТИЦЫ

   МЕДЬ

   ОКСИДЫ МЕДИ

   ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ

   ЗОЛЬ-ГЕЛЬ ПРОЦЕСС

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ

   НАНОКОМПОЗИТЫ

   СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ

   ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

   ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

   НАНОПЛЕНКИ

   ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ

   ПОДЛОЖКИ (электроника)

   КВАРЦЕВОЕ СТЕКЛО

   КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ


Свободных экз. нет