Вакуумная ионно-плазменная обработка [Text] : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки магистров 22.04.01 "Материаловедение и технологии материалов" / [А. А. Ильин и др.]. - Москва : Альфа-М, 2017. - 157 с. : ил., схемы, табл. - (Современные технологии. Магистратура). - ^aБиблиография: с. 150—155 (51 назв.) и в подстрочных примечаниях. - ISBN 978-5-98281-366-4 Альфа-М) (в переплете. - ISBN 978-5-16-009188-4 (Инфра-М) : Б. ц. ГРНТИ ^a55.20^v6 ^a55.21.99^v6 ^a55.01.33^v6 УДК ^a621.793.74-982(075)^v4^zrus Рубрики: ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА    ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ    НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ    МНОГОСЛОЙНЫЕ ПОКРЫТИЯ    ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ    ЭЛЕКТРОДУГОВАЯ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ    ПЛАЗМЕННАЯ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ    МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ    НАНОМАТЕРИАЛЫ    МНОГОСЛОЙНЫЕ ПОКРЫТИЯ    ОЦЕНКА КАЧЕСТВА Доп.точки доступа: Ильин, Александр Анатольевич (доктор технических наук ; род. 1952); Плихунов, Виталий Валентинович (доктор технических наук); Петров, Леонид Михайлович (доктор технических наук); Спектор, Виктор Семенович (кандидат технических наук) Свободных экз. нет

Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника).     Технологические процессы в микро- и наноэлектронике [Text] : учебное пособие / Ю. А. Родионов. - Москва : Инфра-Инженерия, 2019. - 350 с. : ил., цв. ил., табл., схемы. - ^aБиблиография: с. 350 (5 назв.). - ISBN 978-5-9729-0337-5 (в переплете) : Б. ц. ГРНТИ ^a47.33.37^v6 ^a47.01.33^v6 ^a81.09^v6 УДК ^a621.3.049.77(075)^v4^zrus ^a621.38-022.532(075)^v4^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    НАНОЭЛЕКТРОНИКА    ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ    ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ОБРАБОТКА    ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ    ЛИТОГРАФИЯ (электроника)    МЕТАЛЛИЗАЦИЯ    ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА    ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ Свободных экз. нет

Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника).     Основы микросенсорики [Text] : учебное пособие / Ю. А. Родионов. - Москва : Инфра-Инженерия, 2019. - 286 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 286 (6 назв.). - ISBN 978-5-9729-0336-8 (в переплете) : Б. ц. ГРНТИ ^a50.09.37^v6 ^a50.01.33^v6 УДК ^a681.586(075)^v4^zrus Рубрики: СЕНСОРНЫЕ УСТРОЙСТВА    МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА    ТВЕРДОТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ    ПОГРЕШНОСТИ ИЗМЕРЕНИЙ    ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ    ТЕРМОРЕЗИСТОРЫ    АКСЕЛЕРОМЕТРЫ    ГИРОСКОПЫ    ГАЗОАНАЛИЗАТОРЫ    ГРАДИЕНТОМЕТРЫ    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ДАТЧИКИ    ДАТЧИКИ    ДАТЧИКИ ФИЗИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН    СЦИНТИЛЛЯЦИОННЫЕ ДЕТЕКТОРЫ    АКТУАТОРЫ    ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ Свободных экз. нет

Ивашко, Виктор Сергеевич (доктор технических наук ; род. 1947).     Средства технического обслуживания и ремонта автомобилей [Text] : практикум для обучающихся по специальностям 1-37 01 06 "Техническая эксплуатация автомобилей (по направлениям)" и 1-37 01 07 "Автосервис" / В. С. Ивашко, В. А. Лойко ; Министерство образования Республики Беларусь, Белорусский национальный технический университет, Кафедра "Техническая эксплуатация автомобилей". - Минск : БНТУ, 2021. - 104, [1] с. : ил., табл. - ^aБиблиография в конце книги (10 назв.). - ISBN 978-985-583-324-7 : Б. ц. ГРНТИ ^a55.43.41^v6 ^a55.01.33^v6 ^a73.31.41^v6 ^a73.01.33^v6 УДК ^a629.331.083(075)^v4^zrus Рубрики: АВТОМОБИЛИ    АВТОСЕРВИС    ТЕХНИЧЕСКОЕ ОСНАЩЕНИЕ    РЕМОНТНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ    НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ    ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ    СВАРОЧНЫЕ АППАРАТЫ    ИСПЫТАТЕЛЬНЫЕ СТЕНДЫ    ТОРМОЗНЫЕ СТЕНДЫ    ПАРАМЕТРИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ Доп.точки доступа: Лойко, Владимир Алексеевич (кандидат технических наук ; род. 1952) Свободных экз. нет

Григорьев, Сергей Николаевич (доктор технических наук, машиностроение ; род. 1960).     Устройства с полыми катодами для обработки поверхности плазмой и пучками ускоренных частиц [Text] : монография / С. Н. Григорьев, Ю. А. Мельник, А. С. Метель. - Москва : КУРС, 2023. - 125, [1] с. : ил. - ^aБиблиография: с. 120—124 (53 назв.). - ISBN 978-5-906923-02-8 : Б. ц. ГРНТИ ^a55.20.15^v6 ^a55.22^v6 УДК ^a621.793.18^v4^zrus ^a621.793.74^v4^zrus Рубрики: ИНЖЕНЕРИЯ ПОВЕРХНОСТИ    МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ    ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА    ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА    ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА    ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ ТЕЛ    ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ    НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ    ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ    ТЛЕЮЩИЕ РАЗРЯДЫ    ПОЛЫЕ КАТОДЫ    ПЛАЗМЕННЫЕ ЭМИТТЕРЫ    ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУШКИ (техн.)    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ Доп.точки доступа: Мельник, Юрий Андреевич; Метель, Александр Сергеевич (доктор физико-математических наук) Свободных экз. нет

Метель, Александр Сергеевич (доктор физико-математических наук).     Тлеющий разряд в устройствах с электростатическими ловушками [Text] : монография / А. С. Метель, С. Н. Григорьев. - Москва : Курс, 2022. - 155, [2] с. : ил. - (Наука). - ^aБиблиография: с. 143—156 (220 назв.). - ISBN 978-5-906923-03-5 : Б. ц. ГРНТИ ^a55.20.15^v6 ^a55.22^v6 ^a29.27.43^v6 ^a29.27.51^v6 УДК ^a621.793.18^v4^zrus ^a621.384.5.032.267^v4^zrus ^a533.9.03-112^v4^zrus ^a537.533.2^v4^zrus Рубрики: ИНЖЕНЕРИЯ ПОВЕРХНОСТИ    МОДИФИЦИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТЕЙ    ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА    ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА    НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ    ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ    ТЛЕЮЩИЕ РАЗРЯДЫ    ПОЛЫЕ КАТОДЫ    КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ    ЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ    ЭЛЕКТРОННАЯ ПЛАЗМА    ЭЛЕКТРОННЫЕ ЛОВУШКИ    ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЕ ПОЛЕ    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ Доп.точки доступа: Григорьев, Сергей Николаевич (доктор технических наук, машиностроение ; род. 1960) Свободных экз. нет