^aВ338.41я(431)^aЖ6я431(0)^2rubbk International symposium on electron, ion, and photon beams ((54: ; 2010: ; Anchorage, AK)). Papers from the 54th International symposium on electron, ion and photon beam technology and nanofabrication (EIPBN 2010), 1-4 June, 2010, Anchorage, Alaska [Text] / conference chair: Franklin Schellenberg ; program chair: Martin Feldman. - New York : American institute of physics, 2010. - A7 с., с. L61-63, 1080-1483, [710] : ил. ; 28 см. - (Journal of vacuum science & technology, ISSN 1071-1023 ; vol. 28, № 6. B, Series 2). - ^aБиблиогр. в конце ст. Указ.: Auth. ind.: c. 1341-1343 и Subject ind. to vol. 28, Auth. ind. to vol. 28, Materials ind. to vol. 28: с. 1356-1480. - ISBN 978-0-9823012-6-5 : Б. ц. ; Опис. по с. 1331 Перевод заглавия: 1 ^aМатериалы 54 междунродного ссимпозиума по электронно-, ионно- и фотоннолучевой технологии и наносборке. 1-4июня 2010. США. Перевод заглавия: 1 ^aМатериалы 54 междунродного ссимпозиума по электронно-, ионно- и фотоннолучевой технологии и наносборке. 1-4июня 2010. США. Рубрики: Электронные, ионные и фотонные пучки-получение. Технологии Доп.точки доступа: Schellenberg, Franklin; Fldman, Martin Свободных экз. нет |