Реактивное нанесение в вакууме слоев нитрида титана и применение их в системах контактной металлизации полупроводниковых приборов [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1975-1987 гг. / Л. А. Сейдман. - М. : [s. n.], 1988. - 60 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: ВАКУУМНО-ДУГОВОЕ НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
   ВАКУУМНАЯ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ

   МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ

   НИТРИД ТИТАНА

   ПРОИЗВОДСТВО

   ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ



Доп.точки доступа:
Сейдман, Лев Александрович (кандидат технических наук)
Свободных экз. нет