Лыньков, Л. М. Субмикронная литография [Text] : сборник / Л. М. Лыньков, С. Л. Прищепа. - Минск : [s. n.], 1999. - 205 с. : ил. - ^aВ надзаг.Белорусский гос.ун-т информатики и радиоэлектроники.Библиогр.:с.197-205. - ISBN 985-444-036-2 : Б. ц.
Фотолитография Рентгенолитография Ионолитография Доп.точки доступа: Прищепа, С.Л. Свободных экз. нет |