Ясюнас, Александр Алексеевич (наноэлектроника ; род. 1985).     Технология и особенности построения оборудования для формирования наноструктурированных гидрофобных и износостойких оптических покрытий для видимого спектрального диапазона [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Ясюнас Александр Алексеевич ; Учреждения образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2020. - 23 с. : ил. - ^aБиблиография: с. 17—20 (25 назв.). - Б. ц. ; Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках ГРНТИ ^a81.37.15^v6 ^a81.09.03^v6 ^a29.19.16^v6 ^a29.19.22^v6 ^a05.16.08 УДК ^a681.7.064.45(043.3)^v4^zrus ^a539.232-022.532(043.3)^v4^zrus Рубрики: ОПТИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ    ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ    ГИДРОФОБНЫЕ ПОКРЫТИЯ    НАНОПОКРЫТИЯ    НАНОПЛЕНКИ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ    НАНОРЕАКТОРЫ    КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ    ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА Свободных экз. нет

Плазмохимическое осаждение тонких слоев в реакторах пониженного давления [Text] : обзор / С. П. Шепелев [и др.]. - М. : [s. n.], 1986. - 54 с. - Б. ц. УДК ^a621.793.3(048.8)^v3^zrus ^a66.023(048.8)^v3^zrus Рубрики: РЕАКТОРНЫЕ УСТАНОВКИ    ТОНКИЕ ПЛЕНКИ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ    ОСАЖДЕНИЕ АТОМНЫХ СЛОЕВ    ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ    ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ Доп.точки доступа: Шепелев, С. П. Свободных экз. нет

Плазмохимическое осаждение тонких слоев в реакторах пониженного давления [Text] : обзор / С. П. Шепелев [и др.]. - М. : [s. n.], 1988. - 60 с. - Б. ц. УДК ^a621.793.3(048.8)^v3^zrus ^a66.02(048.8)^v3^zrus Рубрики: РЕАКТОРНЫЕ УСТАНОВКИ    ТОНКИЕ ПЛЕНКИ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ    ОСАЖДЕНИЕ АТОМНЫХ СЛОЕВ    СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ    ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ Доп.точки доступа: Шепелев, С. П. Свободных экз. нет

Мочалов, Леонид Александрович.     Плазмохимический синтез тонких пленок халькогенидов мышьяка и их модификация фемтосекундным лазером [Text] : учебное пособие для студентов по направлению 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" / Л. А. Мочалов, А. А. Логунов, В. М. Воротынцев ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева". - Нижний Новгород : НГТУ, 2020. - 130 с. : ил., цв. ил., табл. - ^aБиблиография: с. 122—130 (165 назв.). - ISBN 978-5-502-01216-4 : Б. ц. ГРНТИ ^a29.19.16^v6 ^a29.01.33^v6 ^a31.15.30^v6 ^a31.15.29^v6 ^a31.01.33^v6 ^a47.09.29^v6 ^a47.35.31^v6 ^a47.01.33^v6 УДК ^a539.216.2:546.19'22/'24(075)^v4^zrus ^a539.232:544.556.1(075)^v4^zrus ^a621.315.592:666.113.32(075)^v4^zrus ^a621.373.826.018.756:544.537(075)^v4^zrus Рубрики: ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    ЭЛЕКТРОНИКА    ТОНКИЕ ПЛЕНКИ    МЫШЬЯК    ХАЛЬКОГЕНИДЫ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ СИНТЕЗ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ    ХАЛЬКОГЕНИДНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ    ХАЛЬКОГЕНИДНЫЕ СТЕКЛООБРАЗНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ    ХАЛЬКОГЕНИДНЫЕ СТЕКЛА    КВАНТОВЫЕ ТОЧКИ    ПЛАНАРНЫЕ СТРУКТУРЫ    ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА    ХИМИЧЕСКАЯ МОДИФИКАЦИЯ    ФЕМТОСЕКУНДНЫЕ ЛАЗЕРЫ    ЛАЗЕРНАЯ ХИМИЯ Доп.точки доступа: Логунов, Александр Александрович; Воротынцев, Владимир Михайлович (доктор химических наук) Свободных экз. нет