Вилья Пинеда, Номар Альберто (микроэлектроника).     Формирование тонкопленочных изолирующих слоев с высокой диэлектрической проницаемостью для интегральных МДП структур реактивным магнетронным распылением [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Вилья Пинеда Номар Альберто ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2020. - 21 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 17—18 (10 назв.). - Б. ц. ; Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках ГРНТИ ^a47.13.11^v6 ^a47.13.33^v6 ^a55.22.23^v6 ^a55.20.15^v6 ^a05.27.06 УДК ^a621.3.049.77:621.793.74(043.3)^v4^zrus Рубрики: ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ    МДП-СТРУКТУРЫ    ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА    ТОНКИЕ ПЛЕНКИ    ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ    ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОНИЦАЕМОСТЬ    НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ    МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ    ПЛАЗМЕННАЕ НАПЫЛЕННЕ Свободных экз. нет

Кудинов, Владимир Владимирович (доктор технических наук).     Нанесение плазмой тугоплавких покрытий [Text] / В. В. Кудинов, В. М. Иванов. - М. : Машиностроение, 1981. - 192 с. - Б. ц. УДК ^a621.793.74^v3^zrus Рубрики: ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ    ТУГОПЛАВКИЕ СОЕДИНЕНИЯ    ПЛАЗМЕННАЕ НАПЫЛЕННЕ    НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ Доп.точки доступа: Иванов, Владимир Максимович Свободных экз. нет