Bednarr, B. Resists in microlithography and printing [Text] : монография / Transl.from czech. by M.Smetanova. - 2nd rev.engl.ed. - [S. l. : s. n.]. - 376 p. : ill. - ISBN 0-444-98846-7 : Б. ц. ; Библиогр.в конце глав.
Доп.точки доступа: Kralicek, J.; Zachoval, J. Свободных экз. нет |
Savander, Pekka. Micro-optical components in photoresist [Text] : acad. diss / Pekka Savander. - Joensuu : [s. n.], 1993. - Разд. паг : ил. - (Dissertations / Univ. of Jensuu, ISSN 12364673;3). - ISBN 951-708-170-7 : Б. ц. ; Библиогр. в конце разд Перевод заглавия: 0 ^aМикро-оптические компоненты в фоторезисте:Дисс Перевод заглавия: 0 ^aМикро-оптические компоненты в фоторезисте:Дисс
Рубрики: <Фоторезисты> Свободных экз. нет |
Moders, N. Spatially-resolved x-ray spectroscopy at CAMD [Text] : diss. / N. Moders, H. O. Moser, V. Saile. - Karlsruhe : [s. n.], 1999. - 96 p. : ill. - (Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum(Karlsruhe), ISSN 0947-8620 ; 6314). - ^aПарал. загл. нем. Рез. нем. Библиогр.: с.91-96. - Б. ц.
Доп.точки доступа: Moser, H.O.; Saile, V. Свободных экз. нет |
Защитные свойства пленок фоторезистов и методы их контроля [Text] : обзор / Ю. А. Микиртумов. - М. : [s. n.], 1986. - 40 с. - Б. ц.
ФОТОРЕЗИСТЫ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ ЗАЩИТА Доп.точки доступа: Микиртумов, Ю. А. Свободных экз. нет |
Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии [Text] / Е. Г. Гук [и др.] ; отв. ред. А. В. Ельцов. - Л. : Наука, Ленингр. отд-ние, 1984. - 117 с. - Б. ц.
ДИФФУЗИЯ СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ ФОТОРЕЗИСТЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА Доп.точки доступа: Гук, Елена Григорьевна; Ельцов, Андрей Васильевич \.\ Свободных экз. нет |
Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника). Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем [Text] : учебное пособие / Ю. А. Родионов. - Санкт-Петербург [и др.] : Лань, 2021. - 218 с. : ил., табл. - (Высшее образование). - ^aБиблиография: с. 216 (8 назв.). - ISBN 978-5-8114-5788-5 (в переплете) : Б. ц.
МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ХИМИЧЕСКИЕ РЕАКТИВЫ ХИМИЧЕСКАЯ ОЧИСТКА ФОТОРЕЗИСТЫ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ Свободных экз. нет |