Трапашко, Георгий Алексеевич.

    Методы оптико-электронной регистрации критических размеров субмикронных планарных структур изделий микроэлектроники [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Трапашко Георгий Алексеевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2014. - 21 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 17—18 (16 назв.). - Б. ц.
; Резюме на белорусском, русском и английском языках

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ОПТОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
   МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   ПЛАНАРНЫЕ СТРУКТУРЫ

   ФОТОШАБЛОНЫ

   ФОТОЛИТОГРАФИЯ

   ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ

   ФОТОМЕТРИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ

   СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ

   АВТОРЕФЕРАТЫ


Свободных экз. нет



   

    Технологии субмикронных структур микроэлектроники [Text] / [А. П. Достанко и др.] ; под редакцией А. П. Достанко. - Минск : Беларуская навука, 2018. - 269, [1] с. : 214 ил., цв. ил., схем, 39 табл. - ^aБиблиография в конце глав (всего 361 назв.). - ISBN 978-985-08-2298-7 (в переплете) : Б. ц.
; Авторы указаны на обороте титульного листа, в оглавлении. ; На обложке: Национальная академия наук Беларуси — 90 лет
    Содержание:


ГРНТИ
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА

   ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА

   СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ЗАПОМИНАЮЩИЕ УСТРОЙСТВА

   МНОГОКРИСТАЛЬНЫЕ МОДУЛИ

   СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ

   СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   МИКРОПРОЦЕССОРЫ

   СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ



Доп.точки доступа:
Достанко, Анатолий Павлович (доктор технических наук ; род. 1937); Бордусов, Сергей Валентинович (доктор технических наук ; род. 1955); Голосов, Дмитрий Анатольевич (кандидат технических наук ; род. 1971); Завадский, Сергей Михайлович (кандидат технических наук); Колос, Владимир Владимирович (кандидат физико-математических наук); Купо, Александр Николаевич (кандидат технических наук ; род. 1979); Ланин, Владимир Леонидович (доктор технических наук, электроника ; род. 1948); Лушакова, Мария Сергеевна (электронная техника); Мадвейко, Сергей Игоревич (кандидат технических наук ; род. 1984); Мельников, Сергей Николаевич (радиоэлектроника); Петлицкий, Александр Николаевич (кандидат физико-математических наук); Петухов, Игорь Борисович (кандидат технических наук); Солодуха, Виталий Александрович (кандидат технических наук, электроника); Телеш, Евгений Владимирович
Свободных экз. нет



    Кондрашин, Александр Алексеевич (кандидат технических наук).

    Современные технологии изготовления трехмерных электронных устройств (ТЭУ) [Text] : учебное пособие для обучающихся по образовательным программам высшего образования уровня бакалавриата и магистратуры по направлению подготовки "Электроника и наноэлектроника" / А. А. Кондрашин, А. Н. Лямин, В. В. Слепцов. - 2-е изд., исправленное и дополненное. - Москва : Техносфера, 2019. - 209 с. : ил., цв. ил., табл. - (Мир электроники ; VII—62) (Рекомндовано УМО). - ^aБиблиография: с. 201—209 (100 назв.). - ISBN 978-5-94836-504-6 (в переплете) : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА
   ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА

   ТРЕХМЕРНЫЕ ОБЪЕКТЫ

   ТРЕХМЕРНЫЕ ПРИНТЕРЫ

   АДДИТИВНОЕ ПРОИЗВОДСТВО

   ПЛОСКАЯ ПЕЧАТЬ

   СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ

   АДДИТИВНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   КОМБИНИРОВАННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ТЕРМИЧЕСКОЕ ВОЗДЕЙСТВИЕ

   ФОТОПОЛИМЕРИЗАЦИЯ

Кл.слова (ненормированные):
0 ; 3D-MID технологии


Доп.точки доступа:
Лямин, Андрей Николаевич (кандидат технических наук); Слепцов, Владимир Владимирович (доктор технических наук)
Свободных экз. нет



   

    Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники [Text] / [А. П. Достанко и др.] ; под общей редакцией А. П. Достанко. - Минск : Беларуская навука, 2020. - 259, [1] с. : ил., цв. ил., табл. - ^aБиблиография в конце глав и в подстрочных примечаниях. - ISBN 978-985-08-2521-6 (в переплете) : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА

   МНОГОКРИСТАЛЬНЫЕ МОДУЛИ

   СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ

   ИННОВАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА

   ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ

   ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

   ЛИТОГРАФИЯ (электроника)



Доп.точки доступа:
Достанко, Анатолий Павлович (доктор технических наук ; род. 1937); Аваков, Сергей Мирзоевич (доктор технических наук, электроника ; род. 1955); Голосов, Дмитрий Анатольевич (кандидат технических наук ; род. 1971); Емельянов, Виктор Владимирович; Завадский, Сергей Михайлович (кандидат технических наук); Колос, Владимир Владимирович (кандидат физико-математических наук); Ланин, Владимир Леонидович (доктор технических наук, электроника ; род. 1948); Мадвейко, Сергей Игоревич (кандидат технических наук ; род. 1984); Мельников, Сергей Николаевич (кандидат технических наук); Никитюк, Юрий Валерьевич (кандидат физико-математических наук); Петлицкий, Александр Николаевич (кандидат физико-математических наук); Петухов, Игорь Борисович (кандидат технических наук); Пилипенко, Владимир Александрович (доктор технических наук ; род. 1949); Плебанович, Владимир Иванович; Солодуха, Виталий Александрович (кандидат технических наук, электроника); Соколов, Сергей Иванович (физик); Телеш, Евгений Владимирович; Шершнев, Евгений Борисович (кандидат технических наук, физик ; род. 1960)
Свободных экз. нет



   

    Взаимодействие электронных пучков с поверхностью твердого тела применительно к разработке оптимальной субмикронной литографии [Text] : обзор / Ю. В. Гуляев, Р. К. Яфаров. - М. : [s. n.], 1989. - 52 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ

   ТВЕРДЫЕ ТЕЛА

   ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУЧКИ

   ЛИТОГРАФИЯ

   ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ЭЛЕМЕНТАРНЫХ ЧАСТИЦ



Доп.точки доступа:
Гуляев, Юрий Васильевич (доктор физико-математических наук ; род. 1935); Яфаров, Равиль Кяшшафович (доктор технических наук ; род. 1948)
Свободных экз. нет



   

    Технология субмикронной фотолитографии: современной состояние, перспективы развития и применения [Text] : обзор / Ю. С. Боков [и др.]. - М. : [s. n.], 1988. - 35 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   МИКРОЛИТОГРАФИЯ

   ФОТОЛИТОГРАФИЯ

   СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ

   ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ



Доп.точки доступа:
Боков, Юрий Сергеевич
Свободных экз. нет



    Соколов, Сергей Иванович (кандидат технических наук).

    Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Соколов Сергей Иванович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2023. - 23 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 17—20 (34 назв.). - Б. ц.
; Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках

ГРНТИ
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ

   СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   КВАРЦ

   КВАРЦЕВОЕ СТЕКЛО

   ПОДЛОЖКИ (электроника)

   ФОТОШАБЛОНЫ

   ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА

   ЛАЗЕРНАЯ РЕЗКА

   ЛАЗЕРНАЯ СВАРКА

   ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ СВАРКА

   ТЕМПЕРАТУРНЫЙ РЕЖИМ

   ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

   ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЕ

   КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МЕТОД


Свободных экз. нет



    Шершнев, Евгений Борисович (кандидат технических наук, физик ; род. 1960).

    Лазерная технология формирования компонентов электронной техники из аморфных и кристаллических материалов [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук / Шершнев Евгений Борисович. - Минск : [s. n.], 2024. - 45 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 30—42 (104 назв.). - Б. ц.
; Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
   ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ

   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ

   ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА

   ИННОВАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА

   МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   АМОРФНЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ

   ПОДЛОЖКИ (электроника)

   ФОТОШАБЛОНЫ

   РЕЗОНАТОРЫ

   КВАРЦЕВЫЕ РЕЗОНАТОРЫ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

   КВАРЦ

   АЛМАЗЫ

   ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЕ

   ЛАЗЕРНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ

Кл.слова (ненормированные):
0 ; Кристаллические материалы

Свободных экз. нет