Нанесение упрочняющих покрытий на детали машин и инструмента способом химического осаждения из газовой фазы [Text] : аналитический обзор / ВНИИТЭМР ; [автор-составитель] Г. А. Мелкова. - Москва : ВНИИТЭМР, 1990. - 24, [1] с., включая обложку : табл. - ^aБиблиография: с. 25. - Б. ц.
ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ ИНСТРУМЕНТЫ ДЕТАЛИ МАШИН УПРОЧНЯЮЩАЯ ОБРАБОТКА УПРОЧНЕНИЕ ДЕТАЛЕЙ УПРОЧНЕНИЕ НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ Доп.точки доступа: Мелкова, Г. А. \.\; Всесоюзный научно-исследовательский институт информации и технико-экономических исследований по машиностроению и робототехнике (Москва) Свободных экз. нет |
Применение селективного химического осаждения металлов из газовой фазы в технологии интегральных схем [Text] : обзор / С. С. Дереченник, В. В. Баранов. - Минск : [s. n.], 1990. - 51 с. - Б. ц.
ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ МЕТАЛЛОВ ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ Доп.точки доступа: Дереченник, Станислав Станиславович (младший ; род. 1988); Баранов, Валентин Владимирович (доктор технических наук ; род. 1949) Свободных экз. нет |
Раков, Эдуард Григорьевич (доктор химических наук). Химия в микроэлектронике. Химическое осаждение из газовой фазы [Text] / Э. Г. Раков, В. В. Тесленко. - М. : [s. n.], 1988. - 48 с. - Б. ц.
ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ Доп.точки доступа: Тесленко, В. В. Свободных экз. нет |