Технологии субмикронных структур микроэлектроники [Text] / [А. П. Достанко и др.] ; под редакцией А. П. Достанко. - Минск : Беларуская навука, 2018. - 269, [1] с. : 214 ил., цв. ил., схем, 39 табл. - ^aБиблиография в конце глав (всего 361 назв.). - ISBN 978-985-08-2298-7 (в переплете) : Б. ц. ; Авторы указаны на обороте титульного листа, в оглавлении. ; На обложке: Национальная академия наук Беларуси — 90 лет Содержание:
ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ЗАПОМИНАЮЩИЕ УСТРОЙСТВА МНОГОКРИСТАЛЬНЫЕ МОДУЛИ СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОПРОЦЕССОРЫ СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ Доп.точки доступа: Достанко, Анатолий Павлович (доктор технических наук ; род. 1937); Бордусов, Сергей Валентинович (доктор технических наук ; род. 1955); Голосов, Дмитрий Анатольевич (кандидат технических наук ; род. 1971); Завадский, Сергей Михайлович (кандидат технических наук); Колос, Владимир Владимирович (кандидат физико-математических наук); Купо, Александр Николаевич (кандидат технических наук ; род. 1979); Ланин, Владимир Леонидович (доктор технических наук, электроника ; род. 1948); Лушакова, Мария Сергеевна (электронная техника); Мадвейко, Сергей Игоревич (кандидат технических наук ; род. 1984); Мельников, Сергей Николаевич (радиоэлектроника); Петлицкий, Александр Николаевич (кандидат физико-математических наук); Петухов, Игорь Борисович (кандидат технических наук); Солодуха, Виталий Александрович (кандидат технических наук, электроника); Телеш, Евгений Владимирович Свободных экз. нет |