Микроструктурирование тонких пленок [Text] / : Александр Александрович Орликовский, К. А. Валиев. - М. : Наука, 1991. - 110,[2] с. : ил. - (Труды ФТИАН / АН СССР, Физ.-технол. ин-т ; ГЛ.ред. К. А. Валиев). - Б. ц. ; Библиогр. в конце ст. ГРНТИ ^a47.13 УДК ^a621.382.049.77.002(082) Рубрики: <Микролитография>    <Микроэлектронные> <схемы> <интегральные> <большие> Доп.точки доступа: Орликовский, Александр Александрович \.\; Валиев, К.А. \.\ Свободных экз. нет

Хорин, Иван Анатольевич.     Технологии электронной компонентной базы [Text] : учебное пособие / И. А. Хорин. - Саратов : Ай Пи Эр Медиа, 2018. - 275, [1] с. : ил., цв. ил., табл. - (Университетский учебник). - ^aБиблиография: с. 275—276 (27 назв.). - ISBN 978-5-4486-0210-8 (в переплете) : Б. ц. ГРНТИ ^a47.13.11^v6 ^a47.33.31^v6 ^a47.01.33^v6 УДК ^a621.3.049.77(075)^v4^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    КРЕМНИЕВЫЕ ЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ    КРЕМНИЙ-НА-ИЗОЛЯТОРЕ    ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ    МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ    ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ    ВЫРАЩИВАНИЕ КРИСТАЛЛОВ    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ    ЛЕГИРОВАНИЕ    ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    ТОЛСТОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    МИКРОЛИТОГРАФИЯ    ФОТОЛИТОГРАФИЯ    ТРАВЛЕНИЕ    ОСАЖДЕНИЕ    МЕТАЛЛИЗАЦИЯ    НАНОСТРУКТУРЫ    ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    СБОРОЧНО-МОНТАЖНЫЕ РАБОТЫ Свободных экз. нет

Моро, Уэйн.     Микролитография: принципы, методы, материалы [Text] : в 2 ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990. - 1239 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.75.002:776^v3^zrus Рубрики: ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ    МИКРОЛИТОГРАФИЯ Свободных экз. нет

Боков, Юрий Сергеевич.     Многослойные пленки резистов в микролитографии [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1975-1985 гг. / Ю. С. Боков, В. М. Фролов. - М. : [s. n.], 1985. - 63 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.77.002(048.8)^v3^zrus ^a776(048.8)^v3^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА    МИКРОЛИТОГРАФИЯ    ТОНКИЕ ПЛЕНКИ    МНОГОСЛОЙНЫЕ МАТЕРИАЛЫ (техн.)    РЕЗИСТЫ Доп.точки доступа: Фролов, В. М. Свободных экз. нет

Радиационная микролитография в процессах изготовления изделий функциональной электроники [Text] / В. В. Новиков [и др.]. - Л. : ЛДНТП, 1988. - 29 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.77.002:776(063)^v3^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    МИКРОЛИТОГРАФИЯ    ФОТОЛИТОГРАФИЯ    ФУНКЦИОНАЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА    ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ Доп.точки доступа: Новиков, Владимир Васильевич (доктор физико-математических наук) Свободных экз. нет

Технология субмикронной фотолитографии: современной состояние, перспективы развития и применения [Text] : обзор / Ю. С. Боков [и др.]. - М. : [s. n.], 1988. - 35 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.77.002:776(048.8)^v3^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    МИКРОЛИТОГРАФИЯ    ФОТОЛИТОГРАФИЯ    СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ    ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ Доп.точки доступа: Боков, Юрий Сергеевич Свободных экз. нет

Электронная литография и ее применение в микроэлектронике [Text] : материалы Всесоюз. науч.-техн. конф. 23-24 окт. 1975 г. - М. : [s. n.], 1976. - 53 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.77.002:776^v3^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    МИКРОЛИТОГРАФИЯ    ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ    ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ Свободных экз. нет