Марахтанов, Михаил Константинович.

    Магнетронные системы ионного распыления [Text] : (основы теории и расчета) / М. К. Марахтанов ; под редакцией С. Д. Гришина. - Москва : Издательство МГТУ, 1990. - 75, [1] с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 74—75 (31 назв.). - Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
   ПЛАЗМЕННЫЕ УСТАНОВКИ

   МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

   ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ



Доп.точки доступа:
Гришин, С. Д. \.\
Свободных экз. нет



    Мельников, Сергей Николаевич.

    Комплексное моделирование планарных магнетронных распылительных систем и процессов нанесения тонких пленок металлов [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Мельников Сергей Николаевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2019. - 24 с. : ил. - ^aБиблиография: с. 17—21 (35 назв.). - Б. ц.
; Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

   ТОНКИЕ МАГНИТНЫЕ ПЛЕНКИ

   МАГНЕТРОННЫЙ РАЗРЯД

   ОСАЖДЕНИЕ


Свободных экз. нет



    Семченко, Игорь Валентинович (доктор физико-математических наук ; род. 1959).

    Электромагнитные волны в метаматериалах и спиральных структурах [Text] / И. В. Семченко, С. А. Хахомов ; Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины. - Минск : Беларуская наука, 2019. - 279 с. : ил., цв. ил. - ^aБиблиография: с. 250—264 (303 назв.). - ^aПредметный указатель: с. 275—278. - ISBN 978-985-08-2522-3 (в переплете) : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЕ ВОЛНЫ
   ОТРАЖЕНИЕ ВОЛН

   ТЕРАГЕРЦОВЫЙ ДИАПАЗОН ЧАСТОТ

   СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ ВОЛНЫ

   ПОЛЯРИЗАЦИЯ ВОЛН

   ДИПОЛЬНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ

   БЕЗЭХОВЫЕ КАМЕРЫ

   СЛОЖНЫЕ СТРУКТУРЫ

   ПЕРИОДИЧЕСКИЕ СТРУКТУРЫ

   НЕСОРАЗМЕРНЫЕ МАГНИТНЫЕ СТРУКТУРЫ

   НАНОСТРУКТУРЫ

   ПОЛЯРИЗАЦИОННАЯ СЕЛЕКЦИЯ

   КРАЕВЫЕ ЗАДАЧИ

   ОПТИМАЛЬНЫЕ ПАРАМЕТРЫ

   ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ

   ГИРОТРОПНЫЕ СРЕДЫ

   МЕТАМАТЕРИАЛЫ

   АНИЗОТРОПНЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   РАДИОПОГЛОЩАЮЩИЕ МАТЕРИАЛЫ

   МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

   ХИРАЛЬНОСТЬ

   ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ



Доп.точки доступа:
Хахомов, Сергей Анатольевич (доктор физико-математических наук, физика ; род. 1967)
Свободных экз. нет



    Мельников, Сергей Николаевич.

    Комплексное моделирование планарных магнетронных распылительных систем и процессов нанесения тонких пленок металлов [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Мельников Сергей Николаевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2019. - 24 с. : ил. - ^aБиблиография: с. 17—21 (35 назв.). - Б. ц.
; Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

   ТОНКИЕ МАГНИТНЫЕ ПЛЕНКИ

   МАГНЕТРОННЫЙ РАЗРЯД

   ОСАЖДЕНИЕ


Свободных экз. нет



    Ковальчук, Алексей Владимирович (материаловедение).

    Износо- и коррозионностойкие азот-, углерод-, борсодержащие композиционные покрытия на инструментальных сталях, полученных термодиффузионным насыщением и вакуумным осаждением [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Ковальчук Алексей Владимирович ; Белорусский национальный технический университет. - Минск : [s. n.], 2020. - 21, [1] с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 17—19 (24 назв.). - Б. ц.
; Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках

ГРНТИ
УДК
Рубрики: КОМПОЗИЦИОННЫЕ ПОКРЫТИЯ
   КОРРОЗИОННОСТОЙКИЕ ПОКРЫТИЯ

   ИЗНОСОСТОЙКИЕ ПОКРЫТИЯ

   ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫЕ СТАЛИ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ХИМИКО-ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА

   КАРБОНИТРИРОВАНИЕ

   БОРИРОВАНИЕ

   АЗОТИРОВАНИЕ

   НАУГЛЕРОЖИВАНИЕ

   ВАКУУМНО-ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА

   ДИФФУЗИОННОЕ НАСЫЩЕНИЕ

   МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

   ПОВЕРХНОСТНОЕ УПРОЧНЕНИЕ


Свободных экз. нет



    Вилья Пинеда, Номар Альберто (микроэлектроника).

    Формирование тонкопленочных изолирующих слоев с высокой диэлектрической проницаемостью для интегральных МДП структур реактивным магнетронным распылением [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Вилья Пинеда Номар Альберто ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2020. - 21 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 17—18 (10 назв.). - Б. ц.
; Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
   ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ

   МДП-СТРУКТУРЫ

   ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА

   ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

   ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ

   ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОНИЦАЕМОСТЬ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

   ПЛАЗМЕННАЕ НАПЫЛЕННЕ


Свободных экз. нет



    Маркова, Елена Александровна (машиностроение).

    Износостойкие покрытия для режущих инструментов [Text] : пособие для студентов специальности 1-36 01 03 "Технологическое оборудование машиностроительного производства" / Е. А. Маркова, О. К. Яцкевич ; Министерство образования Республики Беларусь, Белорусский национальный технический университет, Кафедра "Технологическое оборудование". - Минск : БНТУ, 2021. - 49, [1] с. : ил., табл. - ^aБиблиография в конце книги (7 назв.). - ISBN 978-985-583-649-1 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ИНСТРУМЕНТАЛЬНОЕ ПРОИЗВОДСТВО
   РЕЖУЩИЕ ИНСТРУМЕНТЫ

   ИЗНОСОСТОЙКИЕ ПОКРЫТИЯ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ

   CVD-МЕТОД

   МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

   ВАКУУМНО-ДУГОВОЕ НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   НАНОПОКРЫТИЯ

   ЭКСПЛУАТАЦИОННЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ



Доп.точки доступа:
Яцкевич, Ольга Константиновна (кандидат технических наук, машиностроение ; род. 1981)
Свободных экз. нет



    Нгуен Динь Туен (радиоэлектроника).

    Формирование пленок оксида ванадия для неохлаждаемых приемников инфракрасного излучения реактивным магнетронным распылением [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Нгуен Динь Туен ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2021. - 20 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 17 (7 назв.). - Б. ц.
; Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках

ГРНТИ
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
   ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

   ОКСИДЫ ВАНАДИЯ

   ТЕПЛОВЫЕ ПРИЕМНИКИ ИЗЛУЧЕНИЯ

   БОЛОМЕТРЫ

   ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ

   ПОДЛОЖКИ

   МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

   КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

   ИНФРАКРАСНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ

   ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ (техн.)

   ТЕРМОЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ


Свободных экз. нет



   

    Магнетронное распыление магнитных материалов [Text] : обзор / В. Е. Минайчев [и др.]. - М. : [s. n.], 1985. - 32 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МАГНИТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
   МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ



Доп.точки доступа:
Минайчев, В. Е.
Свободных экз. нет



   

    Нанесение металлов и их соединений методами магнетронного и диодного распыления (по данным отечественной и зарубежной печати за 1977-1985 гг.) [Text] : обзор / В. В. Корчагин, В. И. Орлов. - М. : [s. n.], 1986. - 42 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МЕТАЛЛЫ
   ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ



Доп.точки доступа:
Корчагин, Б. В.; Орлов, В. И.
Свободных экз. нет



   

    Получение покрытий сложного состава методами электродугового и магнетронного распыления в вакууме [Text] : обзор / Т. М. Андронова [и др.]. - Рига : [s. n.], 1985. - 39 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ
   МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ



Доп.точки доступа:
Андронова, Т. М.
Свободных экз. нет



    Доан Тхе Хоанг (микроэлектроника).

    Формирование тонкопленочных слоев с высокой диэлектрической проницаемостью на основе сложных оксидов реактивным магнетронным распылением [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Доан Тхе Хоанг ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2023. - 21 с. : ил., схемы. - : Формирование тонкоплёночных слоёв с высокой диэлектрической проницаемостью на основе сложных оксидов реактивным магнетронным распылением. - ^aБиблиография: с. 17—18 (13 назв.). - Б. ц.
; Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
   ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

   СЛОЖНЫЕ ОКСИДЫ

   ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОНИЦАЕМОСТЬ

   МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

   ЛЕГИРОВАНИЕ


Свободных экз. нет