Web ИРБИС

Мельников, Сергей Николаевич.
Комплексное моделирование планарных магнетронных распылительных систем и процессов нанесения тонких пленок металлов [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Мельников Сергей Николаевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2019. - 24 с. : ил. - ^aБиблиография: с. 17—21 (35 назв.). - Б. ц.
; Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках

ГРНТИ	^a05.27.06	^a55.22.19^v6
УДК	^a621.793.18(043.3)^v4^zrus

Рубрики: ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
   МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
   ТОНКИЕ МАГНИТНЫЕ ПЛЕНКИ
   МАГНЕТРОННЫЙ РАЗРЯД
   ОСАЖДЕНИЕ

Свободных экз. нет

ГРНТИ	^a05.27.06	^a55.22.19^v6
УДК	^a621.793.18(043.3)^v4^zrus

request_decrypt("(<.>S=МАГНЕТРОННЫЙ РАЗРЯД<.>)");