Мадвейко, Сергей Игоревич (электроника ; род. 1984). Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фоторезистивных слоев [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Мадвейко Сергей Игоревич ; Учреждение образования Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск : [s. n.], 2013. - 25 с. : ил. - ^aБиблиография: с. 17—22 (40 назв.). - Б. ц. ; Резюме на белорусском, русском и английском языках
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ПЛАЗМАТРОНЫ СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ СВЧ ПЛАЗМА КОНСТРУКТИВНЫЕ РЕШЕНИЯ ТЕХНИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ АВТОРЕФЕРАТЫ Свободных экз. нет |
Смирнов, С. А. (электронная техника). Физико-химические условия в реакторе установки плазмохимического травления и структура установки с индивидуальной (поштучной) обработкой пластин [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1980-1984 гг. / С. А. Смирнов, П. Р. Шефер. - М. : [s. n.], 1985. - 52 с. - Б. ц.
ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ТРАВЛЕНИЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА УСТАНОВКИ (техн.) ПЛАЗМЕННЫЕ РЕАКТОРЫ Доп.точки доступа: Шефер, П. Р. Свободных экз. нет |
Плазмохимические методы синтеза диэлектрических слоев в полупроводниковой технологии [Text] : по данным отечеств. и зарубеж печати за 1979-1986 гг. / Ю. А. Голиков [и др.]. - М. : [s. n.], 1986. - 28 с. - Б. ц.
ПОЛУПРОВОДНИКИ СИНТЕЗ (хим.) ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ДИЭЛЕКТРИКИ Кл.слова (ненормированные): 0 ; диэлектрические покрытия Доп.точки доступа: Голиков, Ю. А. Свободных экз. нет |
Применение газотермических и плазмохимических методов в технике противокоррозионной защиты [Text] : тез. докл. [семинара], нояб. 1990 г., Москва. - Черкассы : Отд-ние НИИТЭхим, 1990. - 56 с. - Б. ц.
ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ ГАЗОТЕРМИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ЗАЩИТА ОТ КОРРОЗИИ Свободных экз. нет |
Попов, В. К. СВЧ плазмохимическая обработка [Text] / В. К. Попов, А. Т. Кондрашова. - М. : ЦНИИ Электроника, 1982. - 44 с. - Б. ц.
СВЧ ОБРАБОТКА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ Доп.точки доступа: Кондрашова, А. Т. Свободных экз. нет |