Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника).     Производство гибридных интегральных схем [Text] : учебное пособие / Ю. А. Родионов. - Москва : Инфра-Инженерия, 2020. - 298 с. : ил., цв. ил., табл. - ISBN 978-5-9729-0460-0 (в переплете) : Б. ц. ГРНТИ ^a47.33.31^v6 ^a47.13^v6 ^a47.01.33^v6 УДК ^a621.3.049.776(075)^v4^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    ГИБРИДНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ    ТОНКИЕ ПЛЕНКИ    КОНФИГУРАЦИИ    ФОТОЛИТОГРАФИЯ    ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ    РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ    ТОПОЛОГИЧЕСКОЕ ПРОЕКТИРОВАНИЕ    РАСЧЕТА МЕТОДЫ    ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ    ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ РЕЗИСТОРЫ    ПЛЕНОЧНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ    КОНТАКТНАЯ ЭЛЕКТРОСВАРКА    СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА    СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ    МИКРОВОЛНОВОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ Свободных экз. нет

Васичев, Б. Н.     Развитие рентгеновской и ионной литографии [Text] / Б. Н. Васичев. - М. : [s. n.], 1988. - 64 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.77.002:776^v3^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    РАДИОЭЛЕКТРОНИКА    РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ Свободных экз. нет

Рентгенолитография в производстве СБИС [Text] / В. Ю. Акифьев [и др.]. - М. : ЦНИИ Электроника, 1988. - 75 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.771.14.002:621.3.86^v3^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ Доп.точки доступа: Акифьев, В. Ю. Свободных экз. нет

Источники излучения для рентгеновской литографии [Text] : обзор / С. А. Иванов [и др.]. - М. : [s. n.], 1988. - 36 с. - Б. ц. УДК ^a621.386.12(048.8)^v3^zrus Рубрики: РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ    ИСТОЧНИКИ ИЗЛУЧЕНИЙ Доп.точки доступа: Иванов, Станислав Алексеевич Свободных экз. нет