Ковальчук, Наталья Станиславовна. Многослойные структуры на основе нитрида кремния для мембранных микроэлектромеханических систем и полупроводниковых приборов [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Ковальчук Наталья Станиславовна ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2012. - 23 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 17—20 (26 назв.). - Б. ц.
МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ АВТОРЕФЕРАТЫ Свободных экз. нет |