Мадвейко, Сергей Игоревич (электроника ; род. 1984).     Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фоторезистивных слоев [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Мадвейко Сергей Игоревич ; Учреждение образования Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск : [s. n.], 2013. - 25 с. : ил. - ^aБиблиография: с. 17—22 (40 назв.). - Б. ц. ; Резюме на белорусском, русском и английском языках ГРНТИ ^a55.20.15^96 ^a55.20.99^96 ^a47.29.33^96 ^a47.45^96 ^a47.14.05^96 ^a47.14.13^96 ^a05.27.06 УДК ^a621.7/.9.047/.048.06:621.387.143.029.6(043.3)^v4^zrus ^a621.387.143.029.6(043.3)^v4^zrus Рубрики: ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ    ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ    ПЛАЗМАТРОНЫ    СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ    СВЧ ПЛАЗМА    КОНСТРУКТИВНЫЕ РЕШЕНИЯ    ТЕХНИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ    ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ    АВТОРЕФЕРАТЫ Свободных экз. нет

Смирнов, С. А. (электронная техника).     Физико-химические условия в реакторе установки плазмохимического травления и структура установки с индивидуальной (поштучной) обработкой пластин [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1980-1984 гг. / С. А. Смирнов, П. Р. Шефер. - М. : [s. n.], 1985. - 52 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.77.002:621.793.74(048.8)^v3^zrus Рубрики: ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА    ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ    ТРАВЛЕНИЕ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ    ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА    УСТАНОВКИ (техн.)    ПЛАЗМЕННЫЕ РЕАКТОРЫ Доп.точки доступа: Шефер, П. Р. Свободных экз. нет

Плазмохимические методы синтеза диэлектрических слоев в полупроводниковой технологии [Text] : по данным отечеств. и зарубеж печати за 1979-1986 гг. / Ю. А. Голиков [и др.]. - М. : [s. n.], 1986. - 28 с. - Б. ц. УДК ^a621.315.61(048.8)^v3^zrus Рубрики: ЭЛЕКТРОИЗОЛЯЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ    ПОЛУПРОВОДНИКИ    СИНТЕЗ (хим.)    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ    ДИЭЛЕКТРИКИ Кл.слова (ненормированные): 0 ; диэлектрические покрытия Доп.точки доступа: Голиков, Ю. А. Свободных экз. нет

Применение газотермических и плазмохимических методов в технике противокоррозионной защиты [Text] : тез. докл. [семинара], нояб. 1990 г., Москва. - Черкассы : Отд-ние НИИТЭхим, 1990. - 56 с. - Б. ц. УДК ^a621.793(063)^v3^zrus Рубрики: МЕТАЛЛЫ    ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ    ГАЗОТЕРМИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ    НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ    ЗАЩИТА ОТ КОРРОЗИИ Свободных экз. нет

Попов, В. К.     СВЧ плазмохимическая обработка [Text] / В. К. Попов, А. Т. Кондрашова. - М. : ЦНИИ Электроника, 1982. - 44 с. - Б. ц. УДК ^a621.9.047^v3^zrus Рубрики: ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА    СВЧ ОБРАБОТКА    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ Доп.точки доступа: Кондрашова, А. Т. Свободных экз. нет