Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии [Text] : учебник для вузов / В. И. Иванов [и др.] ; под редакцией А. С. Сигова. - Москва : Юрайт, 2020. - 270 с. : ил., табл. - (Высшее образование). - ^aБиблиография: с. 236—238 (20 назв.). - ISBN 978-5-9916-7153-8 (в переплете) : Б. ц. ГРНТИ ^a47.33.31^v6 ^a47.14.17^v6 ^a47.01.33^v6 ^a55.22^v6 ^a55.01.33^v6 УДК ^a621.396.6-027.31(075)^v4^zrus ^a621.3.049.77(075)^v4^zrus ^a621.793.18(075)^v4^zrus Рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОННАЯ АППАРАТУРА    КОНСТРУИРОВАНИЕ    ЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ    МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ    ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ    ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ    НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ    ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    ИОННАЯ ЭМИССИЯ    ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ    ОСАЖДЕНИЕ    ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ    ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ    ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ    ДИФФУЗИОННАЯ СВАРКА Доп.точки доступа: Иванов, Владимир Иванович (доктор технических наук); Лучников, Петр Александрович; Сигов, Александр Сергеевич (доктор физико-математических наук ; род. 1945); Суржиков, Анатолий Петрович Свободных экз. нет

Данилин, Борис Степанович.     Вакуумно-технические проблемы ионного, ионно-химического и плазмохимического травления микроструктур [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1973-1984 гг. / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : [s. n.], 1984. - 56 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.77.002:621.794.4(048.8)^v3^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)    ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ    ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ Доп.точки доступа: Киреев, Валерий Юрьевич (1949— ) Свободных экз. нет

Ионно-имплантационная обработка металлических слоев в технологии гибридно-интегральных схем [Text] : обзор / Б. В. Козейкин [и др.]. - М. : ЦНИИ Электроника, 1989. - 66 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.776.002(048.8)^v3^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    ГИБРИДНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    ПОЛИМЕРИЗАЦИЯ    ПАССИВИРОВАНИЕ    ЛИТОГРАФИЯ    ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ    ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ Кл.слова (ненормированные): 0 ; СЛОИ Доп.точки доступа: Козейкин, Б. В. Свободных экз. нет

Плазмохимическое и ионно-химическое травление полупроводниковых материалов типа AsupIII/supBsupV/sup [Text] : обзор / В. И. Светцов [и др.]. - М. : [s. n.], 1989. - 47 с. - Б. ц. УДК ^a621.315.592.2.002:621.794.4(048.8)^v3^zrus Рубрики: ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ Доп.точки доступа: Светцов, В. И. Свободных экз. нет

Данилин, Борис Степанович.     Реактивное ионное травление [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1976-1983 гг. / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев, Д. А. Назаров. - М. : [s. n.], 1984. - 72 с. - Б. ц. УДК ^a621.794.44(048.8)^v3^zrus Рубрики: МЕТАЛЛООБРАБОТКА    ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ Доп.точки доступа: Киреев, В. Ю.; Назаров, Д. А. Свободных экз. нет