Низкотемпературное нанесение пленок нитридов кремния и алюминия реактивным распылением в вакууме [Text] : обзор / Л. А. Сейдман. - М. : [s. n.], 1990. - 52 с. - Б. ц.
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА НИТРИД АЛЮМИНИЯ НИТРИД КРЕМНИЯ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНЫЕ ПРОЦЕССЫ Доп.точки доступа: Сейдман, Лев Александрович (кандидат технических наук) Свободных экз. нет |