Вилисова, Мария Дмитриевна.     Газофазовая эпитаксия полуизолирующего арсенида галлия [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1966-1984 гг. / М. Д. Вилисова, Л. Г. Лаврентьева. - М. : [s. n.], 1985. - 33 с. - Б. ц. УДК ^a621.315.592.2:546.681'19(048.8)^v3^zrus Рубрики: ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ    АРСЕНИД ГАЛЛИЯ    ГАЗОВАЯ ФАЗА    ЭПИТАКСИЯ Доп.точки доступа: Лаврентьева, Л. Г. Свободных экз. нет

Современное состояние исследований механизма эпитаксиального роста кремния и соединения AsupIII/supBsupV/sup из газовой фазы [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1966-1984 гг. / С. С. Стрельченко [и др.]. - М. : [s. n.], 1986. - 41 с. - Б. ц. УДК ^a621.315.592.2:546.28(048.8)^v3^zrus Рубрики: ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ    ЛЕГИРОВАНИЕ    ПИРОЛИЗ    МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ    КРЕМНИЙ    ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ    ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ Доп.точки доступа: Стрельченко, Станислав Сергеевич (доктор технических наук) Свободных экз. нет

Стрельченко, Станислав Сергеевич (доктор технических наук).     Современное состояние исследований механизма эпитаксиального роста кремния и соединения AsupIII/supBsupV/sup из газовой фазы [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1966-1984 гг. / С. С. Стрельченко, А. А. Матяш, Ю. И. Кунакин. - М. : [s. n.], 1985. - 54 с. - Б. ц. УДК ^a621.315.592.2:546.28(048.8)^v3^zrus Рубрики: ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ    ГАЗОВАЯ ФАЗА    КРЕМНИЙ    ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ    ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ Доп.точки доступа: Матяш, Александр Андреевич; Кунакин, Ю. И. Свободных экз. нет

Стрельченко, Станислав Сергеевич (доктор технических наук).     Современное состояние исследований механизма роста эпитаксиальных слоев кремния и соединений AsupIII/supBsupV/sup из газовой фазы [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1968-1982 гг. / С. С. Стрельченко, А. А. Матяш. - М. : [s. n.], 1984. - 37 с. - Б. ц. УДК ^a621.315.592.2:546.28(048.8)^v3^zrus Рубрики: ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ    ГАЗОВАЯ ФАЗА    КРЕМНИЙ    ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ    ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ    МОНОКРИСТАЛЛЫ Доп.точки доступа: Матяш, Александр Андреевич Свободных экз. нет

Стрельченко, Станислав Сергеевич (доктор технических наук).     Кинетика осаждения эпитаксиальных слоев соединений AsupIII/supBsupV/sup из газовой фазы [Text] : обзор / С. С. Стрельченко, А. А. Матяш. - М. : [s. n.], 1979. - 56 с. - Б. ц. УДК ^a621.315.592.2(048.8)^v3^zrus Рубрики: ХИМИЧЕСКАЯ КИНЕТИКА    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ    ГАЗОВАЯ ФАЗА    ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ    ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СЛОИ Доп.точки доступа: Матяш, Александр Андреевич Свободных экз. нет

Тепло- и массоперенос при газофазной эпитаксии кремния (по данным отечественной и зарубежной печати за 1965-1987 гг.) [Text] : обзор / Ю. А. Райнов [и др.]. - М. : [s. n.], 1987. - 64 с. - Б. ц. УДК ^a621.793.162(048.8)^v3^zrus Рубрики: КРЕМНИЙ    ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ    МАССООБМЕН    ТЕПЛООБМЕН Доп.точки доступа: Райнов, Ю. А. Свободных экз. нет