Папина, Сергей Степанович (машиностроение). Комбинированные приводы координатных систем для прецизионного разделения полупроводниковых пластин на кристаллы [Text] : монография / С. С. Папина, В. Л. Басинюк ; Национальная академия наук Беларуси, Объединенный институт машиностроения Национальной академии наук Беларуси. - Минск : РИПО, 2016. - 117 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 109?117 (91 назв.). - ISBN 978-985-503-628-0 : Б. ц.
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ КРИСТАЛЛЫ ПРЕЦИЗИОННАЯ ОБРАБОТКА ПРЕЦИЗИОННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ КОМБИНИРОВАННЫЕ ПРИВОДЫ МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ Доп.точки доступа: Басинюк, Владимир Леонидович (доктор технических наук) Свободных экз. нет |