Папина, Сергей Степанович (машиностроение).

    Комбинированные приводы координатных систем для прецизионного разделения полупроводниковых пластин на кристаллы [Text] : монография / С. С. Папина, В. Л. Басинюк ; Национальная академия наук Беларуси, Объединенный институт машиностроения Национальной академии наук Беларуси. - Минск : РИПО, 2016. - 117 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 109?117 (91 назв.). - ISBN 978-985-503-628-0 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
   ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ

   КРИСТАЛЛЫ

   ПРЕЦИЗИОННАЯ ОБРАБОТКА

   ПРЕЦИЗИОННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

   КОМБИНИРОВАННЫЕ ПРИВОДЫ

   МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ



Доп.точки доступа:
Басинюк, Владимир Леонидович (доктор технических наук)
Свободных экз. нет