Светочувствительные полимерные материалы [Text] / Б. Беднарж [и др.] ; под ред. А. В. Ельцова. - Ленинград : Химия, Ленингр. отд-ние, 1985. - 297с. - ^aБиблиогр.: с. 283-297. - Б. ц. УДК ^a771.53^v4^zrus ^a678.019.36^v4^zrus Рубрики: ПОЛИМЕРНЫЕ МАТЕРИАЛЫ    РЕЗИСТЫ    ЛИТОГРАФИЯ (печать)    ФОТОРЕЗИСТОРЫ Кл.слова (ненормированные): 0 ; Светочувствительные материалы Доп.точки доступа: Беднарж, Богумил; Ельцов, Андрей Васильевич; Заховал, Яромир; Краличек, Ярослав Свободных экз. нет

Боков, Юрий Сергеевич.     Многослойные пленки резистов в микролитографии [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1975-1985 гг. / Ю. С. Боков, В. М. Фролов. - М. : [s. n.], 1985. - 63 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.77.002(048.8)^v3^zrus ^a776(048.8)^v3^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА    МИКРОЛИТОГРАФИЯ    ТОНКИЕ ПЛЕНКИ    МНОГОСЛОЙНЫЕ МАТЕРИАЛЫ (техн.)    РЕЗИСТЫ Доп.точки доступа: Фролов, В. М. Свободных экз. нет

Микроэлектромеханические коммутационные приборы [Text] : учебное пособие / С. М. Карабанов [и др.]. - Москва : КУРС, 2024. - 159, [1] с. : ил., табл., цв. ил. - ^aБиблиография в конце глав. - ISBN 978-5-907535-75-6 (в переплете) : Б. ц. ГРНТИ ^a45.31^v6 ^a45.01.33^v6 ^a47.13.11^v6 ^a47.33^v6 ^a47.01.33^v6 УДК ^a621.316.54:621.382.049.77(075)^v4^zrus Рубрики: КОММУТАТОРЫ    МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ    ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ    ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    МИКРООБРАБОТКА    СХЕМОТЕХНИКА    КОНСТРУКЦИЯ    КОММУТАЦИОННЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ    РЕЗИСТЫ    КОРПУСИРОВАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ    ПОКРЫТИЯ (материалы)    ГАЛЬВАНИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ    КОНТАКТНОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ    ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ    ЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ    ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ Доп.точки доступа: Карабанов, Сергей Михайлович (доктор технических наук ; род. 1953); Суворов, Дмитрий Владимирович (кандидат технических наук); Сливкин, Евгений Владимирович (кандидат технических наук); Гололобов, Геннадий Петрович (кандидат технических наук) Свободных экз. нет

Микроэлектромеханические коммутационные приборы [Text] : учебное пособие / С. М. Карабанов [и др.]. - Москва : КУРС, 2023. - 159, [1] с. : ил., табл., цв. ил. - ^aБиблиография в конце глав. - ISBN 978-5-907535-75-6 (в переплете) : Б. ц. ГРНТИ ^a45.31^v6 ^a45.01.33^v6 ^a47.13.11^v6 ^a47.33^v6 ^a47.01.33^v6 УДК ^a621.316.54:621.382.049.77(075)^v4^zrus Рубрики: КОММУТАТОРЫ    МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ    ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ    ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    МИКРООБРАБОТКА    СХЕМОТЕХНИКА    КОНСТРУКЦИЯ    КОММУТАЦИОННЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ    РЕЗИСТЫ    КОРПУСИРОВАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ    ПОКРЫТИЯ (материалы)    ГАЛЬВАНИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ    КОНТАКТНОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ    ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ    ЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ    ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ Доп.точки доступа: Карабанов, Сергей Михайлович (доктор технических наук ; род. 1953); Суворов, Дмитрий Владимирович (кандидат технических наук); Сливкин, Евгений Владимирович (кандидат технических наук); Гололобов, Геннадий Петрович (кандидат технических наук) Свободных экз. нет