Мадвейко, Сергей Игоревич (электроника ; род. 1984).     Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фоторезистивных слоев [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Мадвейко Сергей Игоревич ; Учреждение образования Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск : [s. n.], 2013. - 25 с. : ил. - ^aБиблиография: с. 17—22 (40 назв.). - Б. ц. ; Резюме на белорусском, русском и английском языках ГРНТИ ^a55.20.15^96 ^a55.20.99^96 ^a47.29.33^96 ^a47.45^96 ^a47.14.05^96 ^a47.14.13^96 ^a05.27.06 УДК ^a621.7/.9.047/.048.06:621.387.143.029.6(043.3)^v4^zrus ^a621.387.143.029.6(043.3)^v4^zrus Рубрики: ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ    ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ    ПЛАЗМАТРОНЫ    СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ    СВЧ ПЛАЗМА    КОНСТРУКТИВНЫЕ РЕШЕНИЯ    ТЕХНИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ    ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ    АВТОРЕФЕРАТЫ Свободных экз. нет

Беляева, Нина Константиновна.     Травление в плазме СВЧ и ВЧ газовых разрядов [Text] : обзор / Н. К. Беляева, А. И. Маштакова ; Н. К. Беляева, А. И. Маштакова. - М. : [s. n.], 1981. - 50 с. - Б. ц. УДК ^a621.382.002(048.8)^v3^zrus Рубрики: ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ РАЗРЯДЫ В ГАЗАХ    ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ РАЗРЯДЫ    СВЧ ПЛАЗМА    ТРАВЛЕНИЕ Доп.точки доступа: Маштакова, Антонина Ивановна Свободных экз. нет