Web ИРБИС

Косенок, Янина Александровна (радиоэлектроника ; род. 1978).
Водные композиции наноразмерных частиц диоксида кремния для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Косенок Янина Александровна ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2019. - 25 с. : ил. - ^aБиблиография: с. 17—22 (46 назв.). - Б. ц.
; Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках

ГРНТИ	^a29.19^v6	^a61.31.47^v6	^a05.16.08
УДК	^a661.682.061.16-022.532(043.3)^v4^zrus

Рубрики: МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
   ДИОКСИД КРЕМНИЯ
   НАНОТЕХНОЛОГИИ
   НАНОЧАСТИЦЫ
   ПИРОГЕННЫЕ ВЕЩЕСТВА
   УЛЬТРАЗВУКОВАЯ ОБРАБОТКА
   ШЕРОХОВАТОСТЬ ПОВЕРХНОСТИ
   МЕХАНОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
   ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ

Свободных экз. нет

ГРНТИ	^a29.19^v6	^a61.31.47^v6	^a05.16.08
УДК	^a661.682.061.16-022.532(043.3)^v4^zrus

request_decrypt("(<.>S=ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ<.>)");