Микроструктурирование тонких пленок [Text] / : Александр Александрович Орликовский, К. А. Валиев. - М. : Наука, 1991. - 110,[2] с. : ил. - (Труды ФТИАН / АН СССР, Физ.-технол. ин-т ; ГЛ.ред. К. А. Валиев). - Б. ц. ; Библиогр. в конце ст.
<Микроэлектронные> <схемы> <интегральные> <большие> Доп.точки доступа: Орликовский, Александр Александрович \.\; Валиев, К.А. \.\ Свободных экз. нет |
Хорин, Иван Анатольевич. Технологии электронной компонентной базы [Text] : учебное пособие / И. А. Хорин. - Саратов : Ай Пи Эр Медиа, 2018. - 275, [1] с. : ил., цв. ил., табл. - (Университетский учебник). - ^aБиблиография: с. 275—276 (27 назв.). - ISBN 978-5-4486-0210-8 (в переплете) : Б. ц.
КРЕМНИЕВЫЕ ЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ КРЕМНИЙ-НА-ИЗОЛЯТОРЕ ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ВЫРАЩИВАНИЕ КРИСТАЛЛОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ ЛЕГИРОВАНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ТОЛСТОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЛИТОГРАФИЯ ФОТОЛИТОГРАФИЯ ТРАВЛЕНИЕ ОСАЖДЕНИЕ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ НАНОСТРУКТУРЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ СБОРОЧНО-МОНТАЖНЫЕ РАБОТЫ Свободных экз. нет |
Моро, Уэйн. Микролитография: принципы, методы, материалы [Text] : в 2 ч. / У. Моро. - М. : Мир, 1990. - 1239 с. - Б. ц.
МИКРОЛИТОГРАФИЯ Свободных экз. нет |
Боков, Юрий Сергеевич. Многослойные пленки резистов в микролитографии [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1975-1985 гг. / Ю. С. Боков, В. М. Фролов. - М. : [s. n.], 1985. - 63 с. - Б. ц.
ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА МИКРОЛИТОГРАФИЯ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ МНОГОСЛОЙНЫЕ МАТЕРИАЛЫ (техн.) РЕЗИСТЫ Доп.точки доступа: Фролов, В. М. Свободных экз. нет |
Радиационная микролитография в процессах изготовления изделий функциональной электроники [Text] / В. В. Новиков [и др.]. - Л. : ЛДНТП, 1988. - 29 с. - Б. ц.
МИКРОЛИТОГРАФИЯ ФОТОЛИТОГРАФИЯ ФУНКЦИОНАЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ Доп.точки доступа: Новиков, Владимир Васильевич (доктор физико-математических наук) Свободных экз. нет |
Технология субмикронной фотолитографии: современной состояние, перспективы развития и применения [Text] : обзор / Ю. С. Боков [и др.]. - М. : [s. n.], 1988. - 35 с. - Б. ц.
МИКРОЛИТОГРАФИЯ ФОТОЛИТОГРАФИЯ СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ Доп.точки доступа: Боков, Юрий Сергеевич Свободных экз. нет |
Электронная литография и ее применение в микроэлектронике [Text] : материалы Всесоюз. науч.-техн. конф. 23-24 окт. 1975 г. - М. : [s. n.], 1976. - 53 с. - Б. ц.
МИКРОЛИТОГРАФИЯ ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ Свободных экз. нет |