Технологии субмикронных структур микроэлектроники [Text] / [А. П. Достанко и др.] ; под редакцией А. П. Достанко. - Минск : Беларуская навука, 2018. - 269, [1] с. : 214 ил., цв. ил., схем, 39 табл. - ^aБиблиография в конце глав (всего 361 назв.). - ISBN 978-985-08-2298-7 (в переплете) : Б. ц.
; Авторы указаны на обороте титульного листа, в оглавлении. ; На обложке: Национальная академия наук Беларуси — 90 лет
    Содержание:


ГРНТИ
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА

   ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА

   СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ЗАПОМИНАЮЩИЕ УСТРОЙСТВА

   МНОГОКРИСТАЛЬНЫЕ МОДУЛИ

   СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ

   СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   МИКРОПРОЦЕССОРЫ

   СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ



Доп.точки доступа:
Достанко, Анатолий Павлович (доктор технических наук ; род. 1937); Бордусов, Сергей Валентинович (доктор технических наук ; род. 1955); Голосов, Дмитрий Анатольевич (кандидат технических наук ; род. 1971); Завадский, Сергей Михайлович (кандидат технических наук); Колос, Владимир Владимирович (кандидат физико-математических наук); Купо, Александр Николаевич (кандидат технических наук ; род. 1979); Ланин, Владимир Леонидович (доктор технических наук, электроника ; род. 1948); Лушакова, Мария Сергеевна (электронная техника); Мадвейко, Сергей Игоревич (кандидат технических наук ; род. 1984); Мельников, Сергей Николаевич (радиоэлектроника); Петлицкий, Александр Николаевич (кандидат физико-математических наук); Петухов, Игорь Борисович (кандидат технических наук); Солодуха, Виталий Александрович (кандидат технических наук, электроника); Телеш, Евгений Владимирович
Свободных экз. нет



   

    Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники [Text] / [А. П. Достанко и др.] ; под общей редакцией А. П. Достанко. - Минск : Беларуская навука, 2020. - 259, [1] с. : ил., цв. ил., табл. - ^aБиблиография в конце глав и в подстрочных примечаниях. - ISBN 978-985-08-2521-6 (в переплете) : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА

   МНОГОКРИСТАЛЬНЫЕ МОДУЛИ

   СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ

   ИННОВАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА

   ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ

   ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

   ЛИТОГРАФИЯ (электроника)



Доп.точки доступа:
Достанко, Анатолий Павлович (доктор технических наук ; род. 1937); Аваков, Сергей Мирзоевич (доктор технических наук, электроника ; род. 1955); Голосов, Дмитрий Анатольевич (кандидат технических наук ; род. 1971); Емельянов, Виктор Владимирович; Завадский, Сергей Михайлович (кандидат технических наук); Колос, Владимир Владимирович (кандидат физико-математических наук); Ланин, Владимир Леонидович (доктор технических наук, электроника ; род. 1948); Мадвейко, Сергей Игоревич (кандидат технических наук ; род. 1984); Мельников, Сергей Николаевич (кандидат технических наук); Никитюк, Юрий Валерьевич (кандидат физико-математических наук); Петлицкий, Александр Николаевич (кандидат физико-математических наук); Петухов, Игорь Борисович (кандидат технических наук); Пилипенко, Владимир Александрович (доктор технических наук ; род. 1949); Плебанович, Владимир Иванович; Солодуха, Виталий Александрович (кандидат технических наук, электроника); Соколов, Сергей Иванович (физик); Телеш, Евгений Владимирович; Шершнев, Евгений Борисович (кандидат технических наук, физик ; род. 1960)
Свободных экз. нет



    Левин, С.

    Основы полупроводниковой микроэлектроники [Text] / С. Левин. - М. : Совет. радио, 1966. - 244 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА


Свободных экз. нет



   

    Полупроводниковая микроэлектроника [Text] : межвуз. сб. науч. тр. / отв. ред. В. С. Шадрин. - Новосибирск : НЭТИ, 1989. - 113 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ



Доп.точки доступа:
Шадрин, Владимир Степанович \.\
Свободных экз. нет



    Сысоев, Валерий Васильевич.

    Автоматизированное проектирование линий и комплектов оборудования полупроводникового и микроэлектронного производства [Text] / В. В. Сысоев. - М. : Радио и связь, 1982. - 119 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   ПОЛУПРОВОДНИКИ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

   АВТОМАТИЗИРОВАННОЕ ПРОЕКТИРОВАНИЕ


Свободных экз. нет



    Курносов, Анатолий Иванович.

    Полупроводниковая микроэлектроника [Text] / А. И. Курносов, Э. Н. Воронков. - М. : Воениздат, 1973. - 240 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ



Доп.точки доступа:
Воронков, Эдуард Николаевич (доктор физико-математических наук)
Свободных экз. нет



    Соколов, Сергей Иванович (кандидат технических наук).

    Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Соколов Сергей Иванович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2023. - 23 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 17—20 (34 назв.). - Б. ц.
; Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках

ГРНТИ
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ

   СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   КВАРЦ

   КВАРЦЕВОЕ СТЕКЛО

   ПОДЛОЖКИ (электроника)

   ФОТОШАБЛОНЫ

   ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА

   ЛАЗЕРНАЯ РЕЗКА

   ЛАЗЕРНАЯ СВАРКА

   ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ СВАРКА

   ТЕМПЕРАТУРНЫЙ РЕЖИМ

   ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

   ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЕ

   КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МЕТОД


Свободных экз. нет



    Шершнев, Евгений Борисович (кандидат технических наук, физик ; род. 1960).

    Лазерная технология формирования компонентов электронной техники из аморфных и кристаллических материалов [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук / Шершнев Евгений Борисович. - Минск : [s. n.], 2024. - 45 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 30—42 (104 назв.). - Б. ц.
; Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
   ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ

   ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ

   ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА

   ИННОВАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА

   МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   АМОРФНЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ

   ПОДЛОЖКИ (электроника)

   ФОТОШАБЛОНЫ

   РЕЗОНАТОРЫ

   КВАРЦЕВЫЕ РЕЗОНАТОРЫ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

   КВАРЦ

   АЛМАЗЫ

   ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЕ

   ЛАЗЕРНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ

Кл.слова (ненормированные):
0 ; Кристаллические материалы

Свободных экз. нет