Киреев, Валерий Юрьевич (1949— ).     Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур [Text] / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов. - Москва : Радио и связь, 1983. - 124, [2] с. : ил., табл., схемы. - (Массовая библиотека инженера ; вып. 36. Электроника). - ^aБиблиография: с. 121—125 (92 назв.). - Б. ц. ГРНТИ ^a47.33.31 УДК ^a621.3.049.77.002:621.794.4^v3^zrus Рубрики: ТРАВЛЕНИЕ    ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ    ПЛАЗМОХИМИЯ    ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ    МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.) Доп.точки доступа: Данилин, Борис Степанович; Кузнецов, Владимир Иванович (микроэлектроника) Свободных экз. нет

Данилин, Борис Степанович.     Вакуумно-технические проблемы ионного, ионно-химического и плазмохимического травления микроструктур [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1973-1984 гг. / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : [s. n.], 1984. - 56 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.77.002:621.794.4(048.8)^v3^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)    ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ    ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ Доп.точки доступа: Киреев, Валерий Юрьевич (1949— ) Свободных экз. нет

Морозова, М. Е.     Исследование и разработка травильных растворов на основе хлорного железа и их электрохимической регенерации в процессе травления [Text] : автореф. дис. ... канд. техн. наук / М. Е. Морозова. - Новочеркасск : [s. n.], 1980. - 20 с. - Б. ц. УДК ^a621.794.42(043.3)^v3^zrus Рубрики: ТРАВИЛЬНЫЕ РАСТВОРЫ    ТРАВЛЕНИЕ    ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ    ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ    РЕГЕНЕРАЦИЯ Кл.слова (ненормированные): 0 ; Хлорное железо Свободных экз. нет

Технологические перспективы лазерно-стимулированного электролиза [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1979-1990 гг. / Ю. В. Серянов. - М. : [s. n.], 1991. - 52 с. - Б. ц. УДК ^a621.794.4(048.8)^v3^zrus Рубрики: ИЗДЕЛИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ    ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ    ЭЛЕКТРОЛИЗ Доп.точки доступа: Серянов, Ю. В. Свободных экз. нет

Мокроусов, Геннадий Михайлович (доктор химических наук ; род. 1946).     Межфазные превращения и формирование поверхности многокомпонентных полупроводников в жидких средах [Text] : учебное пособие / Г. М. Мокроусов, О. Н. Зарубина, Т. П. Бекезина. - Санкт-Петербург [и др.] : Лань, 2023. - 107 с. : ил., табл. - (Учебники для вузов. Специальная литература). - ^aБиблиография: с. 105—107 (53 назв.). - ISBN 978-5-8114-1872-5 : Б. ц. ГРНТИ ^a31.15.33^v6 ^a61.31.59^v6 ^a31.01.33^v6 ^a61.01.33^v6 УДК ^a544(075)^v4^zrus ^a544.6(075)^v4^zrus ^a621.793(075)^v4^zrus Рубрики: ФИЗИЧЕСКАЯ ХИМИЯ    ПОЛУПРОВОДНИКИ    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ    ЖИДКИЕ СРЕДЫ    ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ    ТВЕРДЫЕ ТЕЛА    ПОВЕРХНОСТИ    ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ    АНОДНОЕ РАСТВОРЕНИЕ    ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ    МДП-ТЕХНОЛОГИЯ    МДП-СТРУКТУРЫ    ОКСИДИРОВАНИЕ    ПАССИВИРОВАНИЕ    ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ    ТРАВЛЕНИЕ Доп.точки доступа: Зарубина, Оксана Николаевна (кандидат химических наук ; род. 1981); Бекезина, Татьяна Петровна Свободных экз. нет