Реактивное нанесение в вакууме слоев нитрида титана и применение их в системах контактной металлизации полупроводниковых приборов [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1975-1987 гг. / Л. А. Сейдман. - М. : [s. n.], 1988. - 60 с. - Б. ц.
ВАКУУМНАЯ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ НИТРИД ТИТАНА ПРОИЗВОДСТВО ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ Доп.точки доступа: Сейдман, Лев Александрович (кандидат технических наук) Свободных экз. нет |