Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Text] : [учебное пособие для вузов] / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - [S. l. : s. n.], 2010. - 392 с. - ^aБиблиогр.: с. 386-389 (80 назв.). - ISBN 978-5-9963-0335-9 : Б. ц.
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ НАНОТЕХНОЛОГИИ ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ГЕТЕРОГЕННЫЕ РЕАКЦИИ ФАЗООБРАЗОВАНИЕ ПЕРЕРАСПРЕДЕЛЕНИЕ Кл.слова (ненормированные): 0 ; Фазовые равновесия Доп.точки доступа: Чистяков, Юрий Дмитриевич; Райнова, Юлия Петровна Свободных экз. нет |