Ануфриенко, В. В. Процессы и оборудование фотолитографической обработки [Text] : учеб.пособие по курсу "Технол.процессы и оборудование микроэлектроники" / В. В. Ануфриенко. - М. : [s. n.], 1998. - 66 с. : ил. - ^aБиблиогр.:с.65(6 назв.). - ISBN 5-7256-0188-9 : Б. ц. ; В надзаг.:Моск.гос.ин-т электронной техники(техн.ун-т).
Фотолитографическое оборудование Свободных экз. нет |