Мельников, Сергей Николаевич. Комплексное моделирование планарных магнетронных распылительных систем и процессов нанесения тонких пленок металлов [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Мельников Сергей Николаевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2019. - 24 с. : ил. - ^aБиблиография: с. 17—21 (35 назв.). - Б. ц. ; Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках
НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ ТОНКИЕ МАГНИТНЫЕ ПЛЕНКИ МАГНЕТРОННЫЙ РАЗРЯД ОСАЖДЕНИЕ Свободных экз. нет |
Мельников, Сергей Николаевич. Комплексное моделирование планарных магнетронных распылительных систем и процессов нанесения тонких пленок металлов [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Мельников Сергей Николаевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2019. - 24 с. : ил. - ^aБиблиография: с. 17—21 (35 назв.). - Б. ц. ; Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках
НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ ТОНКИЕ МАГНИТНЫЕ ПЛЕНКИ МАГНЕТРОННЫЙ РАЗРЯД ОСАЖДЕНИЕ Свободных экз. нет |