Вишнякова, З. П. Молекулярно-лучевая эпитаксия в полупроводником производстве [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1975-1984 гг. / З. П. Вишнякова. - М. : [s. n.], 1985. - 40 с. - Б. ц.
ПОЛУПРОВОДНИКИ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ Свободных экз. нет |
Современное состояние исследований механизма эпитаксиального роста кремния и соединения AsupIII/supBsupV/sup из газовой фазы [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1966-1984 гг. / С. С. Стрельченко [и др.]. - М. : [s. n.], 1986. - 41 с. - Б. ц.
ЛЕГИРОВАНИЕ ПИРОЛИЗ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ КРЕМНИЙ ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ Доп.точки доступа: Стрельченко, Станислав Сергеевич (доктор технических наук) Свободных экз. нет |
Денисов, А. Г. Оборудование для молекулярно-лучевой эпитаксии [Text] : обзор / А. Г. Денисов, Н. А. Кузнецов, В. М. Макаренко. - М. : [s. n.], 1981. - 52 с. - Б. ц.
ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ Доп.точки доступа: Кузнецов, Н. А.; Макаренко, В. М. Свободных экз. нет |