Комаров, Фадей Фадеевич (доктор физико-математических наук ; род. 1945).     Ионная и фотонная обработка материалов [Text] : учебное пособие для студентов учреждений высшего образования по специальностям "Физическая электроника", "Радиофизика" / Ф. Ф. Комаров, С. В. Константинов. - Минск : Вышэйшая школа, 2022. - 245, [1] с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 241—243. - ISBN 978-985-06-3395-8 (в переплете) : Б. ц. ГРНТИ ^a55.22^v6 ^a47.13.33^v6 ^a55.01.33^v6 ^a47.01.33^v6 ^a29.19.17^v6 ^a29.01.33^v6 УДК ^a621.793.18(075)^v4^zrus ^a621.382:539.2(075)^v4^zrus ^a537.572(075)^v4^zrus Рубрики: ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ    ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ    НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ    ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ КРИСТАЛЛЫ    МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ (на удаление)    ЛЕГИРОВАНИЕ    ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА    ФОТОННОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ    АТОМНЫЕ СТОЛКНОВЕНИЯ    ИОННЫЕ КАНАЛЫ    ТРЕКИ (физика)    РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ    ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА    ОТЖИГ    СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ    МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЙ Доп.точки доступа: Константинов, Станислав Валерьевич (кандидат физико-математических наук, физик) Свободных экз. нет